Occasion KLA / TENCOR Single FOUP / FIM handler for SP1 #9255159 à vendre en France

KLA/TENCOR Single FOUP/FIM handler for SP1 est un équipement de manutention de plaquettes conçu pour transporter et stocker des plaquettes semi-conductrices. Il est utilisé pour transférer des plaquettes d'un endroit à l'autre dans un environnement propre et exempt de contamination. Le gestionnaire est équipé d'un FOUP automatique (nacelle unifiée à ouverture avant) ou FIM (module intégré à ouverture avant) et est conçu spécifiquement pour être utilisé dans le système d'inspection photomasque SP1 SmartSpectro de KLA. Le gestionnaire est constitué d'une station de base, d'un module de transport supérieur et d'un ou plusieurs transporteurs. La station de base est simplement une base où le gestionnaire est placé et peut être réglé en hauteur. Le manipulateur peut également être monté sur un banc humide ou sur une autre surface. Le module de transport supérieur est utilisé pour soulever la plaquette sur et hors de la station de base. Il peut être enlevé pour l'entretien ou le nettoyage. Les transporteurs sont utilisés pour insérer et retirer les plaquettes du FOUP, et pour les déplacer d'un endroit à un autre. Les supports peuvent également être enlevés pour le nettoyage. Le FOUP (Front Opening Unified Pod) et le FIM (Front Opening Integrated Module) sont conçus pour maintenir la plaquette en sécurité et la protéger de la contamination. Ils sont fabriqués à partir d'un matériau inerte qui empêche la plaquette d'entrer en contact avec la poussière et d'autres contaminants. Le FOUP est une unité de montage intégrée pour protéger la plaquette et maintenir son orientation cohérente, tandis que le FIM est conçu pour supporter jusqu'à 16 plaquettes, permettant leur manipulation en parallèle. Le manipulateur est conçu pour assurer un fonctionnement répétitif et fiable. Il a une machine à faible friction pour minimiser les rayures et la contamination, et est conçu pour minimiser le risque d'erreur humaine pendant le fonctionnement. Le gestionnaire dispose également d'un étalonnage automatique du FOUP ou du FIM et d'une buse à vide escamotable qui capte et place la plaquette en toute sécurité et en toute sécurité. Le FOUP et le FIM sont également conçus pour être interchangeables, permettant aux utilisateurs de passer rapidement et facilement entre plusieurs tâches de traitement des plaquettes. KLA Single FOUP/FIM handler pour SP1 est un outil de manutention fiable et robuste conçu pour maximiser l'efficacité et réduire les coûts. Il est idéal pour les applications de fabrication de semi-conducteurs, et ses caractéristiques avancées garantissent que les plaquettes sont transportées de manière sûre et fiable.