Occasion MECS UTC-800P #9097821 à vendre en France

MECS UTC-800P est un gestionnaire de plaquettes utilisé dans les usines de semi-conducteurs pour le transfert de plaquettes jusqu'à 8 ". Le manipulateur est conçu pour supporter CVD, Etch, Diffusion, Spin-rinçage-sec, Lithographie, PVD, et processus connexes. MECS UTC 800 P dispose d'un débit élevé pouvant atteindre 60 wafers par heure et peut fournir des opérations de transfert précises et fiables. La conception de table-top permet une intégration propre et facile avec les équipements de processus existants et son architecture moderne innovante de composants de manutention de plaquettes assure un fonctionnement à haut rendement pour les processus sensibles au temps. Le gestionnaire de plaquettes dispose d'un équipement « loadlock » qui utilise de l'azote ou de l'air propre pour le transfert de plaquettes dans tout le système. Cette unité réduit l'échange d'air entre la chambre de transfert et l'environnement extérieur, permettant un entretien efficace de l'atmosphère de la salle blanche. UTC-800P est chargé de la face avant avec 8 "cassettes fendues, cassettes avec magazines et FOUP. Le manipulateur peut contrôler la position et la vitesse de chaque bras robotique et rejeter activement les plaquettes avec une position ou une orientation défectueuse. Il comporte également une plaque de protection pour rejeter les plaquettes errantes. En outre, il est équipé d'une machine de contrôle optique et de position dure pour assurer un fonctionnement précis. La sécurité est une caractéristique clé de la conception UTC 800 P. Il dispose d'un outil de guidage en deux points et est conforme aux normes SEMI S2/FSE. Le manipulateur a été développé avec la technologie de détection et de prévention des collisions, une structure de cadre robuste et un corps renforcé pour un fonctionnement sécurisé. Il dispose également de la prévention dynamique des brisures de plaquettes, de la détection dynamique des coins de plaquettes, ainsi que d'une fonction d'arrêt d'urgence et d'un outil d'entrelacement dynamique. MECS UTC-800P est un gestionnaire de plaquettes capable, fiable et hautement sécurisé pour l'industrie des semi-conducteurs. Ses composants innovants et ses normes de sécurité strictes sont conçus pour fournir des transferts précis même dans les opérations les plus exigeantes, ce qui en fait le choix idéal pour les procédés d'usine.