Occasion MECS UTX-1100 #66910 à vendre en France
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ID: 66910
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Wafer handler, up to 8"
UTX1100 robot
CS1000 controller
OF250 wafer aligner and controller
Stored in a cleanroom
2000 vintage.
MECS UTX-1100 est un gestionnaire de plaquettes spécialement conçu pour le traitement des semi-conducteurs avec une précision maximale. Le manipulateur est basé sur une zone de travail de 450 millimètres par 450 millimètres et fonctionne sur un équipement de prise sous vide. Ce système permet de manipuler efficacement les plaquettes de 75 millimètres à 300 millimètres de diamètre. L'unité de mouvement à deux axes est conçue pour déplacer la plaquette tournante à travers toutes les opérations de l'ensemble du processus de manutention de la plaquette. La motorisation peut atteindre des vitesses allant jusqu'à 300 mm/s, ce qui permet un mouvement rapide et précis entre les cassettes de plaquettes et les outils de traitement. La conception robuste de l'UTX-1100 comprend une chambre de boîtier de cassette de protection qui protège les plaquettes contre la contamination, ainsi qu'une machine spéciale de protection à double chambre qui assure un bon fonctionnement même dans des conditions très exigeantes. Le manipulateur comprend également un outil de codage linéaire de précision et un module de réglage fin, assurant un positionnement et un déplacement précis. Son contrôleur logiciel sophistiqué peut être facilement programmé et géré pour permettre une automatisation efficace des flux de travail et réduire les temps d'arrêt en raison d'erreurs ou de dysfonctionnements. MECS UTX-1100 peut contrôler la pression des embrayages à vide et des pinces pour s'assurer que la plaquette est bien maintenue en place pendant son traitement, ce qui élimine la possibilité de glisser ou de se déplacer pendant l'opération. L'outil intégré d'alignement auto-lit aide à ajuster automatiquement la position de la cassette de la plaquette pour une efficacité maximale. UTX-1100 est conçu pour un entretien facile, ce qui le rend idéal pour les lignes de production à haut volume dans l'industrie des semi-conducteurs. Sa construction en acier inoxydable et sa protection intégrée contre les poussières et les liquides le rendent très durable et permet une manipulation sûre et fiable des matériaux de wafer.
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