Occasion MITSUBISHI RH12-SDH8535-S12 #9205259 à vendre en France
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ID: 9205259
Robot
With CR2 controller cable
(2) 2D-TZ378 Interface cards
R56TB Pendant teach panel.
MITSUBISHI RH12-SDH8535-S12 wafer handler est un membre de la famille RH12 des wafers handlers et des fournitures et fournit des performances fiables à haute vitesse pour le traitement des wafer. C'est une machine semi-automatisée de chargement de plaquettes conçue pour gérer et traiter des plaquettes de 12 pouces ou plus petites avec une grande précision et un faible risque. RH12-SDH8535-S12 est un manipulateur statique et est équipé de deux palettes indépendantes permettant un traitement efficace des plaquettes. L'une des palettes est utilisée pour le chargement de la plaquette tandis que l'autre est utilisée pour le déchargement de la plaquette. MITSUBISHI RH12-SDH8535-S12 dispose d'un équipement WIC (Advanced Wafer Identification Code) qui garantit une manipulation précise et sans erreur. Le système WIC est capable d'identifier les plaquettes au moyen d'un code unique qui est intégré dans chaque plaquette et aide la machine à identifier l'emplacement de la plaquette dans la palette. RH12-SDH8535-S12 dispose également d'un mode de fonctionnement manuel et d'un mode de fonctionnement informatisé. En mode de fonctionnement manuel, les opérateurs peuvent vérifier et confirmer manuellement l'état du processus de manutention des plaquettes et peuvent également contrôler et ajuster la vitesse et les paramètres de traitement. En mode de fonctionnement informatisé, la machine peut être gérée simultanément par un opérateur et un contrôleur (via Pascal Language). Le contrôleur peut également être télécommandé via une connexion Ethernet. MITSUBISHI RH12-SDH8535-S12 est équipé d'un poste de cassette facile d'accès qui simplifie le chargement et le déchargement des plaquettes. Il dispose également d'un étrier de plaquette qui mesure automatiquement le diamètre de la plaquette pour une manipulation correcte. RH12-SDH8535-S12 dispose également d'une machine de suivi des plaquettes qui surveille et enregistre l'état de traitement des plaquettes. La machine a une conception modulaire qui est capable d'être facilement relié à d'autres unités modulaires pour fournir des fonctions supplémentaires au gestionnaire de plaquettes. Il est également capable d'interconnecter avec des systèmes de récupération de plaquettes, d'oxydation, de dépôt, de photolithographie et de gravure via le port de connexion Ethernet. Enfin, MITSUBISHI RH12-SDH8535-S12 est équipé d'un outil d'exploitation industriel (OS) et répond à la plupart des exigences environnementales, de sûreté et de sécurité des plaquettes telles que SEMI E84/E122. Son propre logiciel intégré permet une surveillance facile, des diagnostics et des capacités de rapport et fournit une plate-forme sûre et fiable pour les opérations de wafer.
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