Occasion PRI / EQUIPE ESC 212B #9140501 à vendre en France

PRI / EQUIPE ESC 212B
ID: 9140501
Taille de la plaquette: 8"
Robot controller, 8".
Le manipulateur de plaquettes PRI/EQUIPE ESC 212B est un outil de traitement de semi-conducteurs spécialement conçu pour des opérations délicates impliquant des plaquettes. La machine utilise des moteurs de précision, des actionneurs et d'autres composants pour manipuler les plaquettes avec précision et de façon répétée. PRI ESC 212B est un manipulateur de plaquettes à six axes capable de manipuler des diamètres de plaquettes allant de 2 « à 8 » et des épaisseurs allant de 150 μ m à 5000 μ m. La machine déplace la plaquette dans les directions x, y, z et θ 1, θ 2, θ 3 pour permettre un contrôle et un positionnement précis de la plaquette. En outre, la machine supporte une large gamme d'outils de transport de plaquettes, y compris pincette, mandrin sous vide et élévateur. Pour maintenir l'intégrité de la plaquette, la température et le contrôle de l'humidité sont des caractéristiques clés de l'EQUIPE ESC 212B. La machine présente une plage de température comprise entre 1 ° C et 60 ° C et une plage d'humidité comprise entre 10 % et 80 % HR. Cela permet un large éventail de conditions de processus et réduit les risques de dommages potentiels à la plaquette. L'ESC 212B est capable de transporter jusqu'à deux plaquettes simultanément dans un environnement clos et exempt de poussière. La machine est équipée de deux cassettes de wafer qui permettent soit un traitement de wafer simple soit un traitement de wafer double. Les plaquettes sont transportées entre cassettes via un disque porte-air qui réduit les risques de contamination de la surface de la plaquette par les particules. La machine dispose également d'un suivi en temps réel de la santé des plaquettes, y compris la rugosité, l'orientation cristallographique et la contamination des particules. Cela permet un contrôle de qualité automatique pendant le déplacement de la plaquette et garantit que seules les plaquettes de haute qualité sont traitées. Enfin, le gestionnaire de plaquettes PRI/EQUIPE ESC 212B est conçu pour être convivial avec une interface graphique intuitive. Cela permet une configuration rapide des paramètres de la machine et facilite le passage entre les processus. La machine est également équipée de fonctions de sécurité étendues telles que des boutons d'arrêt d'urgence, des capteurs de mouvement inverse et des embrayages pour un fonctionnement sûr. En conclusion, PRI ESC 212B est un outil puissant pour manipuler les plaquettes avec précision et précision. Le contrôle de la température et de l'humidité, la surveillance des plaquettes, le traitement des plaquettes doubles et l'interface conviviale en font un outil très polyvalent pour le traitement des semi-conducteurs.
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