Occasion RECIF IDLW6MR #9174912 à vendre en France

RECIF IDLW6MR est un équipement de manutention de plaquettes conçu pour le traitement automatisé de plaquettes de 300mm dans les installations de fabrication de semi-conducteurs. Ce système haute performance améliore le contrôle et le débit des processus tout en maintenant un haut niveau de précision. IDLW6MR wafer handler est conçu pour satisfaire et dépasser les normes de processus semi-conducteurs de l'industrie. Il dispose d'un design modulaire, avec six carrousels indépendants pour la manutention jusqu'à 300mm wafers. Ce gestionnaire de plaquettes a un pas de 6 pouces jusqu'à 1,7 mm, et un pas de 10 pouces jusqu'à 2,7 mm. Il comprend également une station de palettes pour le chargement et le déchargement faciles des plaquettes et une station piétonne en option à des fins d'entretien. Son unité centrale de commande fournit un contrôle de programmation et de multiples options pour des fonctionnalités avancées. Il supporte également la robotique simple et double voie, ainsi qu'un convoyeur simple voie. Le gestionnaire de plaquettes RECIF IDLW6MR est équipé d'un chargeur/déchargeur de haute précision (LU) et d'un étage d'appareil pour les transferts de plaquettes. Le LU dispose d'un robot à quatre axes, de trois bras sous vide et de trois essuie-glaces pour charger et décharger des plaquettes dans des cassettes de 5 pouces ou 300mm. L'étage du dispositif, en revanche, est conçu pour améliorer la vitesse de chargement de la chambre de processus et maximiser le débit. Il offre un chargement/déchargement basé sur des capteurs et un mécanisme de transfert automatisé entre la Chambre et l'UGB. Le gestionnaire de plaquettes IDLW6MR est équipé de capacités avancées d'alignement de plaquettes, y compris l'alignement supérieur et inférieur à double bras. La machine intègre également des capteurs pour la surveillance in situ, fournissant des données en temps réel sur l'état des plaquettes et des outils. Pendant ce temps, son interface opérateur tactile intégrée permet un contrôle et une entrée coordonnés des paramètres du processus. Le gestionnaire de plaquettes RECIF IDLW6MR est conçu pour faciliter l'utilisation et la fiabilité, avec diverses caractéristiques de sécurité, y compris un interrupteur anti-inversion, des chauffages à température contrôlée et un dispositif d'interception électrique à 8 points. De plus, sa conception modulaire lui permet d'être adapté à diverses applications rapidement et efficacement. Il est conçu pour des performances optimales dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs les plus exigeants.