Occasion RECIF MGI ALI6 #191000 à vendre en France

Le manipulateur de plaquettes RECIF MGI ALI6 est un équipement automatisé de manutention de plaquettes conçu pour la recherche de matériaux avancés et la production de semi-conducteurs. Le système se compose d'un robot de manutention des plaquettes haute performance et d'un sous-système intégré de manutention des plaquettes, offrant une flexibilité et une répétabilité complètes sur une variété de processus matériaux. Le ALI6 comprend un robot articulé à deux bras haute vitesse avec une portée totale de 650 mm et un accès complet à 360 degrés. Il a une vitesse maximale de 4700 mm/s2, une précision de positionnement de 0,1 mm et est capable de contrôler le couple en boucle ouverte. Il est capable de transporter jusqu'à quatre plaquettes à la fois, avec un poids vide de 3,2 kg par plaquette. La haute précision et la répétabilité du robot positionne avec précision la plaquette sur la chambre de processus pour obtenir des résultats optimaux. Le sous-système de manutention des plaquettes intègre des fonctions telles que l'orientation des plaquettes, le levage et le nettoyage, ainsi qu'une unité de régulation de température contrôlée par logiciel. Il est conçu pour assurer un contrôle précis et répétable de la température à +/- 0,5 ° C du point de consigne souhaité. La machine fonctionne avec des plaquettes de 320 mm, 200 mm et 150 mm de diamètre, capables de marcher et de répéter le mouvement des plaquettes. Le sous-système de traitement des plaquettes a une vitesse maximale de 0,9 m/s et une accélération maximale de 1G. MGI ALI6 est un outil innovant et automatisé de manutention des plaquettes, avec une combinaison unique de fonctionnalités qui a été spécialement conçu pour assurer un traitement fiable et répétable des plaquettes. Il fournit une plate-forme haute performance pour supporter un large éventail de tâches de traitement et de production de matériaux, fournissant des résultats reproductibles à chaque fois. Le sous-système de traitement intégré des plaquettes a été optimisé pour des temps de cycle courts, assurant un traitement rapide et précis des plaquettes pour un meilleur débit.