Occasion RORZE EFEM #9255471 à vendre en France

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Fabricant
RORZE
Modèle
EFEM
ID: 9255471
Taille de la plaquette: 12"
Wafer handling system, 12".
RORZE EFEM est une plate-forme de traitement des plaquettes de nouvelle génération conçue pour le traitement des semi-conducteurs. Il combine des composants de pointe, une automatisation haut de gamme et des fonctions de contrôle polyvalentes pour offrir une expérience utilisateur exceptionnelle. Le système EFEM comprend une étape de chargement/déchargement, une étape de wafer et une étape de transfert. L'étage de chargement/déchargement comporte deux moteurs situés à proximité de chaque extrémité de la table, permettant un transport efficace et précis des plaquettes depuis les supports de stockage. Il dispose également de capteurs de position qui détectent la présence de plaquettes et d'un système de vision pour améliorer les performances. L'étage de plaquette est constitué d'un moteur de précision avec un solénoïde rotatif de commande de la broche d'entraínement et un mandrin pour maintenir les plaquettes. Il est capable de rotation à grande vitesse et de vibrations, et peut accueillir jusqu'à 8 plaquettes à la fois. L'étage de transfert contient deux unités de griffes capables de transférer des plaquettes d'un étage à l'autre rapidement et avec précision. En outre, RORZE EFEM comprend également un ensemble de fonctions de contrôle sophistiquées. Il dispose d'une interface utilisateur intuitive et facile à utiliser, avec un affichage graphique fournissant des informations en temps réel sur la position et l'état des plaquettes. Il comprend également la commande PID, permettant à l'utilisateur de fixer des valeurs cibles spécifiques pour la vitesse, la pression et le couple des étages de wafer et des étages de transfert. Le système peut être programmé avec une variété de commandes et de paramètres pour des performances optimales, et peut stocker jusqu'à 30 configurations. Enfin, l'EFEM est conçu pour un fonctionnement sécurisé en toute sécurité et fiabilité. Il dispose de plusieurs systèmes de sécurité, y compris un interrupteur de porte, une corde de sécurité et des capteurs de détection de plaquettes. Il a également été conçu pour minimiser les vibrations et prévenir les dommages aux plaquettes. RORZE EFEM offre des performances exceptionnelles dans la manutention des plaquettes, offrant un niveau supérieur d'automatisation pour le traitement efficace des semi-conducteurs. Il combine des composants de pointe avec des fonctions de contrôle sophistiquées, fournissant une opération facile à utiliser et sécurisée pour une expérience utilisateur très avancée.
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