Occasion RUDOLPH / AUGUST SWS #9235595 à vendre en France

RUDOLPH/AUGUST SWS (Substrate Wafer Equipment), fabriqué par AUGUST Technologies, est un gestionnaire de plaquettes conçu pour les processus manuels et automatisés. Il est composé de deux robots à ouverture automatique à fente, d'un chargeur de plaquettes double largeur, d'un robot de transfert et d'une station de déchargement équipée d'une chambre. Le chargeur de wafer double largeur d'AUGUST SWS est conçu pour accueillir des wafers de grande taille avec des largeurs allant jusqu'à deux pouces. Le chargeur peut manipuler des plaquettes de 4, 5 ou 6 pouces et est muni d'un mécanisme d'indexation modulaire pour une alimentation fiable. Le robot de transfert utilisé dans le système est constitué de deux bras linéaires chargés, qui facilitent une alimentation continue des plaquettes dans SPECTRO ou toute autre machine de traitement. Le robot de transfert a été équipé d'un dispositif de sécurité qui évite les dommages aux plaquettes lors des transferts. Les deux robots à ouverture automatique sont utiles pour charger des fentes de taille et de qualité uniformes sur les plaquettes. Ils ont été conçus pour capturer des fentes de différentes largeurs et des fentes de profondeurs jusqu'à 0,05 pouce, tout en conservant l'intégrité des plaquettes. Chaque robot est muni d'un lecteur de sortie variable et d'un verrouillage de sécurité qui limite la durée de la procédure de déverrouillage de la plaquette. L'unité est également pourvue d'une chambre, adaptée au chargement et au déchargement des plaquettes entre les machines de traitement. Cette chambre présente des paramètres réglables et est efficace pour prévenir la contamination. En conclusion, RUDOLPH SWS est un gestionnaire de plaquettes conçu pour les processus manuels et automatisés. Il dispose d'un chargeur de plaquettes double largeur, de deux robots à ouverture automatique à fente, d'un robot de transfert ainsi que d'une chambre adaptée au chargement et au déchargement des plaquettes entre les machines de traitement. Ces composants se combinent pour créer une machine de manutention fiable et efficace capable de fournir une uniformité avec des fentes de la plus haute qualité.