Occasion SHIBUYA EH 182 #293585948 à vendre en France

SHIBUYA EH 182
Fabricant
SHIBUYA
Modèle
EH 182
ID: 293585948
Sorters.
SHIBUYA EH 182 est un gestionnaire de plaquettes haute performance conçu pour le chargement et le déchargement automatisés de plaquettes semi-conductrices. Il est principalement utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs pour transférer des cassettes de plaquettes ou des cassettes ouvertes frontales vers et hors des zones de processus telles que les graveurs, les fours de diffusion et les chambres de photo-lithographie. EH 182 a une capacité de 8 pouces, 200 mm et 300 mm de plaquettes et peut manipuler jusqu'à 8 cassettes à la fois. SHIBUYA EH 182 se compose de plusieurs composants majeurs, dont un bras robotique, un ensemble de moteurs de levage et un ensemble de paliers. Le bras robotique est conçu pour transférer les cassettes d'un tampon au robot et les moteurs de gauche sont conçus pour soulever le bras robotique. Les pignons sont utilisés pour des mouvements robotiques lisses lors de la manipulation des cassettes. EH 182 est configuré avec trois types de transfert différents : clamshell, navette avant ouverte et navette ronde. Le transfert de clamshell permet à SHIBUYA EH 182 de placer avec précision la plaquette et ses substrats dans les chambres internes de traitement, tandis que le transfert avant ouvert emporte des cassettes entre les chambres. Le transfert de navette rond est utilisé pour transporter les cassettes entre les outils et permet de multiples chemins de routage et le déplacement simultané de plus d'une cassette. En plus des capacités de transfert, EH 182 offre également une capacité de vision avancée pour vérifier les défauts lors des étapes de prise et de placement de la plaquette. Cette fonction permet une protection supplémentaire contre tout dommage potentiel. SHIBUYA EH 182 est équipé de fonctionnalités conviviales pour faciliter le processus d'automatisation, telles que la configuration facile et les commandes manuelles. Son intelligence intégrée permet à EH 182 de réagir de manière appropriée à une tâche avec une interface utilisateur minimale. SHIBUYA EH 182 est un gestionnaire de plaquettes fiable et performant qui fournit un mouvement robotique lisse, précis et reproductible. Ses fonctionnalités avancées et ses capacités de personnalisation le rendent idéal pour les environnements automatisés et manuels. Associé à sa conception économique, l'EH 182 est la solution idéale pour les exigences de manutention des semi-conducteurs.
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