Occasion SHIBUYA EH 520 #9253524 à vendre en France
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SHIBUYA EH 520 est un gestionnaire de plaquettes entièrement automatisé utilisé dans les lignes de production de dispositifs à semi-conducteurs et à panneaux plats. Il est conçu pour traiter rapidement, efficacement et avec précision les plaquettes de différents diamètres, épaisseurs et configurations de filière par traitement thermique, dédicace et nettoyage. Le dispositif dispose d'un bras robotisé ergonomique pour une manipulation précise des plaquettes, et d'un système de détection laser pour un positionnement précis. EH 520 utilise un système de navigation par ordinateur pour localiser et transférer des plaquettes sur toute la zone de traitement du substrat. Le dispositif utilise un étage de moteur linéaire X-Y de haute précision pour maintenir et scanner avec précision la surface de la plaquette avec une diode laser. La résolution de balayage est critique pour permettre un déplacement précis de la plaquette dans la direction X et Y. Le SHIBUYA EH 520 est également équipé d'un mécanisme de serrage pour maintenir serré la plaquette sans déformation de substrat après le positionnement laser. EH 520 a une partie de manipulation programmable intégrée. Cette portion est utilisée pour le transport parallèle d'un grand nombre de plaquettes à la fois, permettant un débit plus élevé. Le dispositif exécute également un algorithme intégré de « palettisation » qui réduit le temps nécessaire pour déplacer les plaquettes d'une zone de processus à l'autre. SHIBUYA EH 520 a un profil bas et offre une gamme de flexibilité pour une variété de domaines d'application. Le dispositif a une conception modulaire pour un entretien facile et l'évolutivité. Il offre une large gamme d'options pour le transport, le tri et le nettoyage des plaquettes, et peut traiter une variété d'étapes de traitement thermique et mécanique, telles que l'oxydation, le placage, la gravure, et ainsi de suite. EH 520 offre une excellente précision et un taux de traitement impressionnant allant jusqu'à 600 plaquettes par heure. Il fonctionne avec un niveau sonore très faible et est conçu pour répondre aux normes de fiabilité les plus élevées, après avoir subi des tests de qualité et de performance rigoureux. Le dispositif permet une intégration facile à d'autres dispositifs de la ligne de production et est conçu pour durer de nombreuses années, minimisant les coûts de maintenance et permettant à la ligne de production de fonctionner avec un maximum d'efficacité.
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