Occasion STAUBLI RX90 LCRfsi #9255544 à vendre en France

Le STAUBLE STAUBLI RX90 LCRfsi est un gestionnaire de plaquettes utilisé dans les systèmes automatisés de transport, d'inspection et de métrologie. Il est conçu pour transférer les plaquettes et autres substrats quelle que soit la forme ou le matériau, rapidement et avec précision avec une distorsion minimale. Sa conception unique en LCR (Linear Cartesian Robotics) garantit un mouvement lisse, rapide et une précision inégalée. Il utilise un disque à broche lisse (SSD) propriétaire pour créer un mouvement linéaire selon trois axes : X, Y et Z. Cela permet au robot de se déplacer jusqu'à des vitesses de 5.000 mm/s, avec une résolution supérieure à 1 micron dans tous les axes. Le RX90 est également équipé d'un système de suspension réactive à force (FRS) qui maintient automatiquement une force de préhension contrôlée de façon constante, quelle que soit la taille ou la forme du substrat, et assure une adhérence sûre sur le substrat pendant le transport. Cela réduit les risques de grattage, de délogement ou d'endommagement du substrat lors de la prise en main du robot. Il dispose également d'un système de vision intégré, capable d'inspecter et de mesurer des substrats avec une résolution pouvant atteindre 1,5 μ m. La conception LCR très précise du RX90 lui permet également de maintenir un total de 16 degrés de liberté dans les mouvements avant et arrière. Cela permet de minimiser le wobble habituellement trouvé dans d'autres systèmes robotiques, et assure que la plaquette est toujours positionnée avec précision à un moment donné. De plus, sa conception assure un support de substrat uniforme tout au long du trajet de transfert et réduit les risques de vibrations et de collisions. Dans l'ensemble, le STAUBLE RX90 LCRfsi est un gestionnaire de plaquettes innovant et polyvalent qui a été conçu pour les procédés haut de gamme de l'industrie des semi-conducteurs. sa conception LCR avancée, sa suspension réactive à force intuitive et son système de vision intégré en font un choix idéal pour tout laboratoire de fabrication. Il est capable de transférer et d'inspecter des substrats avec une efficacité et une précision maximales, à des vitesses allant jusqu'à 5 000 mm/s, avec une résolution allant jusqu'à 1 μ m.