Occasion SWECO ITAL-500 #9392922 à vendre en France

SWECO ITAL-500
Fabricant
SWECO
Modèle
ITAL-500
ID: 9392922
Auto loader.
Le gestionnaire de plaquettes SWECO ITAL-500 est un dispositif robotique conçu pour contrôler avec précision le débit en ligne des plaquettes dans un environnement de traitement des semi-conducteurs. Il est conçu pour être utilisé dans des applications nécessitant plusieurs séquences de manutention de plaquettes, y compris la fabrication d'epiwafer, les sondes de plaquettes et d'autres systèmes connexes. ITAL-500 se compose d'un chargeur de plaquettes électromécaniques, d'un mécanisme de transport de plaquettes, d'un entraînement par broche et d'une unité optionnelle à bras fendu. Le chargeur électromécanique de plaquettes est conçu pour le chargement de jusqu'à 100 plaquettes. Une échelle Vernier est intégrée dans le chargeur pour une mesure de tolérance précise et une plaque positionnée plus près de la buse du robot permet le prélèvement des plaquettes du chargeur sans dommages de contact. Cela assure un chargement répétable et précis des plaquettes. Le mécanisme de transport des plaquettes assure un mouvement précis et répétable le long d'une voie intérieure, permettant de multiples opérations de ramassage et de livraison des plaquettes. Le mécanisme est conçu pour supporter +/- 1mm de mouvement dans les axes x et y, et +/- 0.5mm de mouvement dans l'axe z. L'entraínement à broche intégré assure un contrôle de la vitesse et de la direction réglable pour permettre une manipulation précise des plaquettes pendant le transport. Le contrôle de vitesse est réglable de 0 à 6 000 tours par minute, tandis que la direction peut être réglée indépendamment dans le sens horaire et dans le sens inverse des aiguilles d'une montre. L'ensemble fente-bras optionnel est conçu pour l'alignement exact des plaquettes dans le système. Un tourbillon de guidage de la plaquette est prévu pour empêcher l'écaillage de la plaquette, tandis qu'un mouvement fin à deux axes est réglable pour aider au maintien de l'alignement de la plaquette. SWECO ITAL-500 est équipé d'une variété de dispositifs de sécurité. Le commutateur de sécurité à deux mains inclus permet de démarrer la procédure de manutention sans crainte de mouvement erroné. Les limites de mouvement entre chaque point de ramassage et de déchargement sont surveillées par un interrupteur à domicile afin de protéger le mécanisme de toute interférence externe. De plus, un capteur de proximité de 300 microns est prévu pour détecter toute obstruction de la plaquette-chargeuse lors du chargement et du déchargement. Afin de maximiser l'efficacité opérationnelle de ITAL-500, un contrôleur tactile écran et pendentif d'enseignement sont fournis. Le contrôleur est conçu pour la saisie des données des différents paramètres nécessaires à la manipulation des plaquettes, tandis que le pendentif d'enseignement permet la programmation de plusieurs séquences de manipulation des plaquettes. De plus, le robot peut être facilement intégré dans les équipements existants via Ethernet, ce qui en fait une solution idéale pour les projets de fabrication de semi-conducteurs. Dans l'ensemble, le gestionnaire de plaquettes SWECO ITAL-500 est une solution idéale pour les applications de traitement de semi-conducteurs nécessitant plusieurs séquences de manutention de plaquettes. Sa gamme de caractéristiques et de mesures de sécurité permet une manipulation précise et répétable des plaquettes, tandis que son contrôleur intuitif et son pendentif didactique permettent une programmation et un fonctionnement faciles.
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