Occasion ULVAC COVOT-6-X5A #293664110 à vendre en France

ULVAC COVOT-6-X5A est un gestionnaire de plaquettes conçu pour fournir de manière efficace et fiable des services de transport de plaquettes pour les substrats en silicium et non-silicium. Ce gestionnaire de plaquettes dispose d'une architecture modulaire et flexible qui fournit un fonctionnement autonome supérieur ou l'intégration dans les systèmes d'automatisation en usine existants. COVOT-6-X5A est capable de manipuler des plaquettes simples jusqu'à 200 mm et a une plage de température de fonctionnement de 15 ° C ~ 40 ° C Le dresseur de gaufrette présente le contrôle d'environnement cleanroom intégré à la Haute PIÈCE A/C (la Classe 4 d'ISO) avec le contrôle d'humidité relative (RH de 20~70 %) et les nombres de particule à 0.03μm (avec l'équipement ULVAC-ICP3 filteration). Le programme de séquence est basé sur PC avec simple révision de programme via le logiciel EMME/3. Cela garantit la configuration facile et intuitive des produits, la création de programmes, la maintenance et l'enregistrement des données. ULVAC COVOT-6-X5A dispose d'un système intégré de refroidissement par refroidisseur avec quatre zones de refroidissement indépendantes pour le refroidissement des substrats. Il comprend l'échange automatique de cassettes et le déchargement de cassettes vers FOUP (ou d'autres PCT) avec un gestionnaire double bras en option pour les substrats plus rigides. Les configurations de l'unité de transfert de plaquettes comprennent la saisie à deux bras pour jusqu'à 20 plaquettes ensemble et il peut être programmé pour deux axes de transport et le robot de commande à plusieurs bras avec la machine de mouvement à coulisseau rotatif multiple pour le transport et la manipulation de la plaquette. L'outil de serrage est doté d'un éjecteur pneumatique à haute rigidité et d'une contre-pression de type soufflage d'air pour une manipulation fiable et sûre du substrat. Le moniteur de câblage COVOT-6-X5A comprend plusieurs dispositifs de sécurité intégrés pour prévenir les erreurs causées par la déconnexion du câblage. Ce gestionnaire de plaquettes est équipé de courroies recouvertes de PFA, comprend un moteur micro-pas avec encodeur dédié pour un positionnement précis des plaquettes et peut être intégré à un actif d'automatisation client existant ou utilisé comme un modèle autonome. Afin d'assurer la fiabilité opérationnelle, le gestionnaire de plaquettes ULVAC COVOT-6-X5A utilise des fonctions de diagnostic pour l'analyse d'alarme d'équipement et l'enregistrement de journal de maintenance, en plus de la vérification de l'opération. Il est également conçu pour réduire les opérations de maintenance grâce au système de radiographie CT. Ce gestionnaire de plaquettes est conforme CE et comprend une console de plafond avec clavier, et une paire de grands moniteurs.