Occasion VARIAN E19013780 #148779 à vendre en France
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VARIAN E19013780 est un système robotique automatisé conçu pour transférer des plaquettes dans un environnement de fabrication de plaquettes semi-conductrices. Le gestionnaire de plaquettes est constitué d'un ordinateur central constitué d'un ensemble de mouvement X/Y/Z, d'un bras de transfert de plaquettes et d'un processeur principal. Son ordinateur central assure le mouvement physique des différentes composantes de la plaquette tout au long du processus. L'ensemble de mouvement X/Y/Z est constitué d'un moteur d'entraînement à axes X, Y et Z qui est utilisé pour déplacer un chariot de charge, typiquement sur des glissières de vide et de gravité. Le moteur d'entraînement à axe Z est capable de régler les positions de vide et de gravité d'une plaquette sur le bras du robot. Le bras de transfert de plaquette est un actionneur de type vérin qui porte et fait tourner la plaquette pendant le processus de transfert. Le CPU principal est responsable du contrôle des mouvements et autres actions, sur la base des instructions données. Le gestionnaire de plaquettes est capable de transférer des plaquettes dans une variété de configurations au sein d'une même cellule de travail. La configuration du bras de transfert de plaquettes est capable de prévoir jusqu'à quatre positions différentes pour le transfert et la rotation de plaquettes. Ces différentes positions sont programmées pour permettre au manipulateur robotique d'accomplir avec précision toutes les tâches séquentielles de la boîte de travail. Les gestionnaires de plaquettes utilisent un certain nombre de capteurs, y compris des capteurs de proximité, des tours lumineuses, des boutons poussoirs et des interrupteurs de limitation pour fournir une rétroaction pour contrôler les mouvements des plaquettes. Le bras robotique a la capacité de manipuler des plaquettes dans les plans vertical et horizontal. Le temps de cycle du gestionnaire de plaquettes dépend du temps de manipulation et de transfert des plaquettes entre les multiples composants de la cellule de travail. E19013780 manutentionneur de plaquettes est conçu pour transférer, faire tourner et trier efficacement les plaquettes dans un environnement de fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour assurer un transfert rapide et précis des plaquettes avec un temps de cycle minimal et des rendements de production améliorés. Le gestionnaire de plaquettes réduit l'erreur humaine et assure un alignement précis des plaquettes tout au long du processus. Le bras robot est capable d'offrir des performances optimales en fonction de sa conception et de sa configuration.
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