Occasion BROOKS AUTOMATION Fixload TM #9401143 à vendre en France
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ID: 9401143
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2006
Load port, 6"
2006 vintage.
AUTOMATISATION BROOKS Fixload TM est un épurateur de plaquettes et de masques conçu pour répondre aux défis des défauts physiques sur les plaquettes et masques semi-conducteurs, ce qui a permis d'améliorer les rendements pour les fabricants de puces. Cet épurateur innovant et rentable offre une variété de caractéristiques et de capacités qui permettent un nettoyage plus efficace et aucune contamination des plaquettes et des masques. La machine se compose d'un pont d'épuration avec un toit, rond-point de méandre. Le pont sert de porte-substrat et le rond-point est le véhicule de nettoyage et de séchage. Cette fonctionnalité utile permet de réduire la quantité de points de contact pouvant causer une contamination par le substrat, ce qui entraîne des temps de nettoyage plus longs. Le module principal d'épuration contient deux zones d'épuration indépendantes qui sont conçues pour éliminer simultanément des défauts physiques de part et d'autre de la surface du substrat. Cela permet d'assurer des caractéristiques de surface uniformes et d'éliminer toute accumulation possible de contaminants sur la plaquette ou le masque. L'équipement Fixload utilise de puissants jets d'air turbulent qui sont dirigés vers le substrat et peuvent être ajustés à la surface cible. Le processus d'épuration est soutenu par un système de détection de particules en ligne qui permet un épuration uniforme et contrôlé. Cette unité fonctionne en incorporant une puissante machine laser et caméra qui analyse et analyse les défauts, donnant aux fabricants des retours en temps réel sur l'état du processus de lavage. Le Fixload offre un processus de nettoyage entièrement automatisé des plaquettes et des masques, assurant le plus haut niveau de propreté et de précision. La machine est capable de manipuler de nombreux types de substrats, de la filière empilée aux couches minces en passant par le FEOL et le BEOL à plusieurs niveaux. Il est également capable de nettoyer des plaquettes de 100mm et 200mm avec des performances et une précision inégalées. En conclusion, Fixload TM est un épurateur de plaquettes et masques puissant et hautement automatisé qui fournit une solution complète et rentable pour éliminer les défauts physiques sur les plaquettes et masques semi-conducteurs. Il offre d'excellentes performances, précision et contrôle de processus tout en offrant un processus de nettoyage entièrement automatisé pour garantir des substrats plus propres. Grâce à sa capacité à manipuler une grande variété de plaquettes et de masques, BROOKS AUTOMATION Fixload TM est un outil précieux pour les fabricants de puces qui cherchent à réduire les produits non conformes et à améliorer les profits.
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