Occasion C-SUN PRS #9271179 à vendre en France
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ID: 9271179
Style Vintage: 2010
Scrubber
Material of chamber: Aluminum alloy whit surface treatment
Inner chamber: Ø 380 mm x H 305 mm
Application of solar cell:
Edge isolation
Texture
Inductively Coupled Plasma (ICP) source
RF Generator: 13.56 MHz, 1000 W
Standard gas: O2
Gas flow control: Analog type MFC
Dry pump: >150 m³ / hr
Base pressure: >10^-2 Torr
Process pressure: 50~200 m Torr
Automatic system: 15" TFT Panel / IPC / Windows 2000 XP
2010 vintage.
C-SUN PRS est un épurateur à plaquettes et masques conçu pour être utilisé dans les laboratoires de fabrication de semi-conducteurs. Il utilise un solide mélange eau-air dilué-détergent pour dissoudre les particules et les contaminants présents sur la surface de la plaquette et du masque. L'épurateur non seulement élimine les particules, mais assure également un dégraissage efficace pour restituer les surfaces à leur chimie de surface prévue. PRS est un équipement robuste utilisant un épurateur de type plate-forme. Sa grande capacité de trémie permet de traiter jusqu'à 45 plaquettes et jusqu'à trois masques en un seul cycle. Le C-SUN PRS est équipé de buses réglables et de collecteurs de pulvérisation pour fournir avec précision la solution de nettoyage. Le système de recirculation de l'épurateur assure une circulation constante de la solution de nettoyage, assurant un nettoyage uniforme même en présence de particules denses. De plus, une puissante pompe est utilisée pour injecter du liquide à haute pression dans les plaquettes et les masques, délogeant efficacement les particules tenaces. L'unité est logée dans une enceinte en acier inoxydable avec un couvercle grand ouvert pour un accès facile qui permet une inspection visuelle rapide et claire des composants. Il fonctionne avec une puissance triphasée de 415V et peut fonctionner pendant plus de 2000 cycles et 200 heures d'utilisation continue. L'eau et le détergent sont automatiquement surveillés pour s'assurer que leurs niveaux ne sont pas trop élevés ou trop bas. La machine de filtration intégrée en option permet également à PRS d'éliminer les particules dissoutes de la solution de nettoyage recirculée et d'améliorer son efficacité. C-SUN PRS est un outil entièrement automatisé, permettant une plus grande flexibilité et commodité pour ses opérateurs. Le PRS passe par des cycles de nettoyage complets sans qu'il soit nécessaire d'intervenir ou d'ajuster davantage après le chargement des plaquettes et des masques. Il est également équipé d'un logiciel convivial qui permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler ses paramètres avec une acquisition de données pratique et intuitive. C-SUN PRS répond aux normes strictes de l'industrie en termes d'élimination des particules, de propreté et de rentabilité. Sa construction robuste le rend imperméable à l'usure, et ses fonctions automatisées le rendent rentable et facile à utiliser. Son logiciel convivial et sa conception de couvercle ouverte en font un excellent choix pour les laboratoires de fabrication de semi-conducteurs à la recherche d'une plaquette et d'un nettoyant de masque fiables et précis.
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