Occasion C-SUN PRS #9283776 à vendre en France

Fabricant
C-SUN
Modèle
PRS
ID: 9283776
Style Vintage: 2010
Scrubber Material of chamber: Aluminum alloy whit surface treatment Inner chamber: Ø 380 mm x H 305 mm Application of solar cell: Edge isolation Texture Inductively Coupled Plasma (ICP) source RF Generator: 13.56 MHz, 1000 W Standard gas: O2 Gas flow control: Analog type MFC Dry pump: >150 m³ / hr Base pressure: >10^-2 Torr Process pressure: 50~200 m Torr Automatic system: 15" TFT Panel / IPC / Windows 2000 XP 2010 vintage.
C-SUN PRS est un épurateur automatisé de plaquettes et de masques conçu pour fournir un nettoyage avancé, l'élimination très efficace de la contamination des bords de plaquettes, et les applications de refonte de billes de bord pour la fabrication de semi-conducteurs. PRS est un dispositif à deux unités capable d'effectuer deux types d'opérations en parallèle, minimisant le temps total de traitement et augmentant le rapport coût-efficacité tout en respectant les normes industrielles les plus élevées en matière de rendement et de qualité des procédés. C-SUN PRS utilise une combinaison de brossage mécanique et de la technologie de nettoyage des bords de plaquettes pour fournir le meilleur-en-classe d'élimination de la contamination des bords de plaquettes. Un modèle de bord de plaquette spécialement conçu aide les ingénieurs à contrôler la longueur de la brosse et à contrôler précisément l'angle de nettoyage pour réduire les incidents d'exposition ou les accidents. Disponible dans une variété de réglages personnalisables de pression de brossage, l'équipement peut facilement ajuster la vitesse et la pression de brossage en fonction de la taille et du type de filière. La conception ergonomique et intuitive permet à l'opérateur d'effectuer rapidement et avec plus de précision et de sécurité les opérations de nettoyage des bords des plaquettes. PRS comprend également une technologie avancée d'épuration des masques qui permet l'élimination rapide et complète de toute matière particulaire, même les résidus les plus gênants. Les surfaces polies des plaquettes sont ensuite traversées par un réacteur chimique spécialement conçu pour éliminer les matières résiduelles et les contaminants. La fonction d'analyse chimique automatique permet à l'opérateur d'identifier rapidement la solution de nettoyage la plus adaptée, tandis que le contrôle optimisé de la température et de l'humidité assure des performances et des rendements optimaux pour les plaquettes. C-SUN PRS est livré avec une gamme de fonctionnalités avancées conçues pour maximiser le débit et augmenter la commodité, comme le système RFID intégré pour suivre le processus de démarrage de la machine à l'arrêt complet de l'unité. La machine automatique de remplacement de cartouche en option permet une commutation rapide et facile entre le bord de la plaquette et les opérations de nettoyage du masque, permettant à l'opérateur d'accomplir sa tâche sans intervention manuelle. Disponible avec une gamme d'outils logiciels entièrement intégrés pour le nettoyage des plaquettes, Edge ReDesign et le nettoyage des masques, PRS offre un moyen efficace et rentable de maintenir les plaquettes propres et fonctionnelles avant et après la fabrication. De simples utilisateurs de maintenance à des utilisateurs avancés de maintenance de bord, ce wafer automatisé et épurateur de masque est le choix idéal pour atteindre le plus haut rendement et la qualité.
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