Occasion CSK HEATS-05 #293647981 à vendre en France

CSK HEATS-05 est un équipement de lavage automatique à haute efficacité des plaquettes et des masques conçu pour le nettoyage des dispositifs semi-conducteurs. Ce système fait partie de la série d'épurateurs CSK Heats utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. L'unité utilise un procédé de nettoyage sous vide qui utilise de l'air ionisé pour éliminer les contaminants des plaquettes et des masques. Ce procédé permet d'éliminer toutes les particules jusqu'à 20nm, ce qui le rend efficace pour retirer les particules de la surface du dispositif. Le procédé assure également un nettoyage supérieur des surfaces rugueuses ou rayées avant la cuisson et la lithographie. La machine est composée de trois parties principales : un plateau, une chambre à vide et une alimentation électrique. Le plateau est une surface de travail en aluminium anti-rayonnement qui est chauffée à la température désirée par un dispositif de chauffage intégré. La chambre à vide est conçue pour aspirer de l'air dans l'outil en un cycle, tandis que l'alimentation fournit l'actif en énergie électrique. Le plateau est équipé de deux plaquettes et de quatre têtes de lavage qui se déplacent sur la surface de la plaquette ou du masque pour les nettoyer. Le plateau peut être chauffé à une température maximale de 200 ° C pour un nettoyage efficace. Après traitement à l'air ionisé, la plaquette est ensuite placée sur le plateau à sécher et traitée aux UV ou Laser pour durcissement ou lithographie. Le modèle est capable de traiter la plaquette ou le masque jusqu'à la taille de 8 « x 10 », avec un temps de cycle maximum de 60 secondes. HEATS-05 offre un processus de nettoyage cohérent et fiable qui est facile à utiliser et assure un nettoyage sûr des plaquettes et des masques. L'équipement est compatible avec une large gamme de procédés de fabrication de dispositifs, ce qui en fait un excellent choix pour tout fabricant de dispositifs semi-conducteurs.