Occasion DISCO DCS 141 #9096535 à vendre en France
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DISCO DCS 141 est un lave-linge entièrement automatisé conçu pour améliorer la qualité des substrats et les rendements des appareils. Il assure un nettoyage uniforme des plaquettes de silicium et des photomasques utilisés dans la fabrication des semi-conducteurs, en utilisant un procédé d'épuration rotationnelle à deux pulvérisateurs. DISCO DCS141 utilise une seule brosse pour entraîner la plaquette/masque sur le module de nettoyage, tandis que deux jets de pulvérisation pulvérisent en continu fluide de nettoyage. Lorsque la plaquette ou le masque descend le module de nettoyage, il est simultanément épuré et rincé à l'eau ultrapure. Le DCS 141 dispose d'un système unique d'épuration à deux étages. Tout d'abord, il pré-trempe la plaquette avant le lavage, permettant à la solution de nettoyage de pénétrer les dépôts à la surface de la plaquette. Ensuite, au fur et à mesure que la plaquette descend le module de nettoyage, les jets à double pulvérisation utilisent simultanément un lavage haute pression synchronisé et des actions de rinçage basse pression qui délogent les contaminants de surface et les particules non dédensées. En plus du nettoyage ultrasonique de la plaquette/masque, DCS141 dispose d'un système de séchage centrifuge. Au fur et à mesure que la plaquette/masque descend le module de nettoyage, l'air est forcé à travers une série de buses, évaporant rapidement la solution de nettoyage et séchant simultanément la plaquette/masque. Ce système de séchage évite que des liquides ne soient piégés entre les micro-gravures de la plaquette/masque semi-conducteur. DISCO DCS 141 est équipé d'une bande transporteuse pouvant contenir jusqu'à trois plaquettes/masques dans chaque cycle. Les plaquettes/masques peuvent être de différentes tailles, formes et épaisseurs. Les performances d'épuration de DISCO DCS141 peuvent également être ajustées en fonction de la taille et du type de plaquette/masque nettoyé. Le DCS 141 est équipé d'un mode LAB/QC (Quality Control), permettant à l'utilisateur de configurer l'épurateur pour effectuer des tests de validation de nettoyage des plaquettes/masques. Le mode LAB/QC présente une meilleure répétabilité et précision des processus, les résultats fournissant des informations détaillées sur l'élimination des résidus, la couverture de la surface, les niveaux de contamination et d'autres paramètres vitaux du processus. DCS141 est également disponible avec un panneau de commande à écran tactile offrant un accès facile aux paramètres de programmation tels que la vitesse de lavage, la pression de lavage, le débit d'eau, le temps de séchage et d'autres paramètres de fonctionnement. Il est donc plus facile que jamais de régler l'épurateur en fonction des besoins de l'utilisateur. DISCO DCS 141 est conçu avec une interface utilisateur intuitive avec un dévouement à la sécurité et la fiabilité, et offre une solution automatisée hautement fiable et efficace pour le nettoyage des plaquettes de silicium et des photomasques utilisés dans le processus de fabrication des semi-conducteurs.
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