Occasion DNS / DAINIPPON SS-3000-AR #293617845 à vendre en France
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ID: 293617845
Style Vintage: 2005
Scrubber, 12"
Chamber A:
Process: Wafer surface clean
Vacuum chuck
Soft spray N2 10~100NL/min
Rinse: DIW / CO2 Injection, resistivity <1 MΩ
Spin dry speed: 3000 RPM
Chamber B:
Process: Wafer surface clean
Vacuum chuck
Soft spray N2 10~100NL/min
Rinse: DIW / CO2 Injection, resistivity <1 MΩ
Spin dry speed: 3000 RPM
Chamber C:
Wafer backside clean
Mechanical chuck
PVA Burush
Rinse: DIW / CO2 Injection, resistivity <1 MΩ
2005 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-3000-AR Wafer & Mask Scrubber est un équipement de nettoyage fiable et performant conçu pour éliminer les particules de la surface des plaquettes et des masques dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Le système utilise une technologie avancée de nettoyage des vibrations et des oscillations pour nettoyer les particules des surfaces des plaquettes et des masques rapidement et efficacement. DNS SS-3000-AR comprend deux chambres d'épuration, chacune avec une tête de nettoyage vibrante. Les chambres d'épuration peuvent contenir jusqu'à 3000mm2 de wafer et de masque. La tête de lavage est alimentée par un moteur puissant, réglable à trois vitesses, qui fait vibrer la tête de lavage à haute fréquence. La tête d'épuration est capable d'épurer à la fois la surface et les bords du matériau de wafer et de masque, éliminant les particules de l'extérieur et de l'intérieur du matériau. La tête de lavage peut s'ajuster à trois niveaux de vitesse de nettoyage, ce qui permet un nettoyage efficace et complet. L'unité est équipée de capteurs de pression pour assurer une pression d'épuration appropriée pendant chaque cycle. La machine est également équipée d'un détecteur de particules de haute technologie, qui peut détecter des particules aussi petites que 0,1 μ m à la surface du matériau. DAINIPPON SS 3000 AR est construit avec une construction robuste, conçu pour résister aux températures extrêmes, à la poussière, à l'humidité et aux chocs. L'outil comprend également un actif de contrôle environnemental efficace pour maintenir l'environnement des chambres de lavage propre et exempt d'impuretés. DNS SS 3000 AR dispose d'une interface conviviale, avec des menus multilingues faciles à comprendre, permettant une configuration et un fonctionnement rapides et faciles. De plus, un modèle d'enregistrement des données externe peut être connecté à l'équipement, permettant un contrôle complet du processus et la traçabilité. DAINIPPON SS-3000-AR Wafer & Mask Scrubber est une solution de nettoyage efficace et efficace, conçue pour éliminer même les plus petites particules de la surface des plaquettes et des masques. La construction robuste, les contrôles de pression de précision et la puissante tête de lavage la rendent idéale pour une utilisation dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, garantissant des résultats propres et fiables.
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