Occasion DNS / DAINIPPON SS-3000-AR #293627543 à vendre en France
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ID: 293627543
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Wafer scrubber, 12"
(3) Load ports
Controller
(3) MFC / Pressure unit
Drive mechanism
Chamber A and B:
Process: Wafer surface clean
Chuck: Vacuum chuck
Spray: Soft spray N2 10~100NL/min
Rinse: DIW/ CO2 Injection, resistivity <1MΩ
Spin dry: 3,000 rpm
Chamber C and D:
Process: Wafer backside clean
Chuck: Mechanical chuck
Spray: Soft spray N2 10~100NL/min
Brush: PVA Brush
Rinse: DIW/CO2 Injection, resistivity <1MΩ
Spin dry: 2,400 rpm
Multi-chambers system:
Unit position 1 / U03 SS (surface) / CO2water
Unit position 2 / U04 SS (surface) / CO2water
Unit position 3 / U05 SS (backside) / CO2water
Unit position 4 / U06 SSR (backside) / CO2water
Gas configuration:
Gas line 1: C4F6 200 sccm- STEC D519 / C4F6 200
Gas line 2: COS 30 sccm - STEC D519 / COS 30
Gas line 3: O2 20 sccm - STEC D519 / O2 20
Gas line 4: O2 3000 sccm - STEC D519 / O2 3000
Gas line 5: CH2F2 200sccm - STEC D519 / CH2F2 200
Gas line 6: C4F8 200 sccm - STEC D519 / C4F8 200
Gas line 7: O2 200 sccm - STEC D519 / O2 200
Gas line 8: Ar 1000 sccm - STEC D519 / AR 1000
Gas line 9: CHF3 200 sccm - STEC D519 / CHF3 200
Gas line 10: H2 300 sccm - STEC D519 / H2 300
Gas line 11: NF3 30 sccm - STEC D519 / NF3 30
Gas line 12: N2 500 sccm - STEC D519 / N2 500
Gas line 13: CF4 200 sccm - STEC D519 / CF4 200
Tuning gas 4/line 14: O2 10 sccm - STEC D519 / O2 10
Tuning gas 3/line 15: C4F6 10 sccm - STEC D519_L / C4F8 10
Tuning gas 2/line 16: O2 10 sccm - STEC D519 / O2 10
Tuning gas 1/line 17:C4F6 10 sccm- STEC D519_L / C4F6 10
ATM, EFEM: 4 wide EFEM type
Power supply: 208 AC, 3 Phase
2005 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-3000-AR Wafer & Mask Scrubber est un outil très fiable, efficace et précis conçu pour nettoyer les surfaces des plaquettes et des masques avec des modes de fonctionnement multiples entièrement automatisés. Cet épurateur a été créé dans le cadre d'un procédé avancé de fabrication de semi-conducteurs. L'épurateur utilise de l'eau chaude sous pression avec des détergents et une aspiration sous vide pour nettoyer efficacement la surface de la plaquette et du masque. Ce procédé crée une surface parfaitement plane et lisse, permettant une gravure parfaite lors de l'étape suivante du dépôt physique en phase vapeur. L'épurateur comprend également un équipement de purification fine pour s'assurer que toutes les petites particules délogées de la surface lors du nettoyage sont enlevées. L'épurateur dispose d'une large gamme de caractéristiques, y compris une pompe puissante et économe en énergie qui utilise seulement environ deux à trois pascals de pression pour le nettoyage, et une dépression séparée pour l'élimination des particules. La pompe dispose également d'un débit réglable pour un meilleur contrôle du processus de nettoyage. De plus, l'épurateur dispose d'un mode ultra-haute précision afin que l'appareil puisse cibler avec précision les zones minuscules de la plaquette ou du masque. L'épurateur est également équipé d'un système de commande de mouvement facilement réglable et programmable. Cette fonctionnalité permet à l'opérateur de personnaliser l'épurateur à la tâche à accomplir. L'unité de commande de mouvement assure également une utilisation sûre et fiable du laveur. Pour plus de commodité et de précision, DNS SS-3000-AR Wafer & Mask Scrubber est livré avec un logiciel de traitement d'image numérique qui fonctionne avec la machine de contrôle de mouvement du scrubber. Ce logiciel est capable d'analyser et de reconnaître les imperfections de la surface d'une plaquette ou d'un masque, ce qui lui permet d'ajuster les réglages de l'épurateur pour nettoyer la surface rapidement et efficacement. Dans l'ensemble, DAINIPPON SS 3000 AR Wafer & Mask Scrubber est un outil fiable et efficace qui peut créer des surfaces paires de haute qualité pour n'importe quelle plaquette ou masque préparé pour l'industrie de fabrication de semi-conducteurs. Grâce à son atout de haute précision, à ses fonctions économes en énergie et à son logiciel de traitement d'image numérique, le DS-3000-AR peut s'assurer que les surfaces préparées pour le processus de fabrication sont correctement nettoyées, même et prêtes à être gravées.
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