Occasion DNS / DAINIPPON SS-80BW-AR #9205458 à vendre en France

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ID: 9205458
Scrubber, 8" SMIF Type Options: 2F / 2B Moving type: Transfer robot Loading position type: Right-side type Signal tower: 4-Color (GYWR) Patlite type Indexer unit: (4) SMIF Type Wafer detect sensor Transfer robot (Vacuum less) / X,Y, Z, R Axis TR Unit: Dual arm transfer robot (Vacuum less) / XI, X2, Y, Z, R Axis Wafer detect sensor Back-side spin unit: Magnetic chuck type Brush nozzle (Normal type) Jet nozzle DIW1, D1W2, back rinse, brush rinse, N2 blow, N2 purge Front-side unit: Vacuum chuck (Black acetal) Brush (Brush pressure control system) Jet nozzle DIW1, DIW2, Back rinse, brush rinse, N2 blow, N2 purge Reverse unit: (2) Reverse units Side cabinet: (4) High pressure pumps / EBARA / PJ-50 / E50-R13K / 5(Mpa) Meg-con system FFU Chamber & controller Drain mani-fold unit 2000 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-80BW-AR est un épurateur à plaquettes et masques conçu spécifiquement pour la production de lithographie. L'épurateur offre un haut niveau d'automatisation et de contrôle permettant un nettoyage fiable sans nuire à la plaquette ou au masque. L'équipement est adapté à une gamme d'applications incluant des masques de nettoyage avant la lentille et les systèmes d'exposition, ainsi que le lavage des plaquettes après le développement. L'épurateur DNS SS-80BW-AR offre un processus de nettoyage fiable et efficace, avec des fonctionnalités telles qu'un contrôleur de haute précision, une force d'épuration adaptative et un couvercle articulé pour un accès facile. Le nettoyeur utilise une force contrôlée par ordinateur pour assurer un lavage doux des masques et des plaquettes. La force peut être ajustée entre 0.8-2.4N pour que le nettoyage soit parfaitement adapté à la sensibilité du matériau à nettoyer. Le laveur a deux sections principales : une chambre de nettoyage équipée d'une roue de lavage et d'un fluide de nettoyage, et une chambre de contrôle. La chambre de nettoyage est conçue pour diminuer le report du fluide de nettoyage des plaquettes précédentes. La chambre de contrôle abrite une source de vide, un capteur de température, un capteur de force, un capteur de pression, ainsi qu'une caméra CCD pour la surveillance en temps réel du processus de nettoyage. Le système est conçu pour une faible contamination des particules et de l'eau, et comprend une unité de contrôle de la température de l'outil de lavage. L'épurateur dispose également d'une fonction de moniteur RR, qui permet aux utilisateurs de surveiller la taille, la concentration et le débit des particules. Pour assurer un fonctionnement sûr et fiable, l'épurateur DAINIPPON SS 80BW AR est conçu pour alerter l'utilisateur de toute contamination ou erreur potentielle au cours du processus d'épuration. La machine est également conçue pour éviter la contamination croisée entre plaquettes en nettoyant automatiquement la roue de lavage après chaque utilisation. SS-80BW-AR est un choix idéal pour le nettoyage des plaquettes et des masques dans la production lithographique. Il fournit un processus de nettoyage fiable et automatisé avec une force d'épuration réglable, un contrôle de la température et un contrôle des particules. L'épurateur est facile à utiliser et à entretenir, réduisant les temps d'arrêt et augmentant la productivité.
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