Occasion DNS / DAINIPPON SSW-60A-AR #9409203 à vendre en France
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ID: 9409203
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1998
Spin scrubber, 6"
Transfer robot
Loading position type: Left side
3-Colors signal tower
Non-SMIF
No GEM Controller
(2) Reverse units
Indexer unit:
(4) Cassette
Wafer defect sensor
Transfer robot (A type) X, Y and Z Axis
TR unit:
Dual arm transfer robot (Vacuum less) X1, X2, Y, Z and R Axis
Wafer defect sensor
Front-side spin unit 3:
Mechanical chuck type
Brush nozzle
Jet nozzle
DIW 1, DIW 2, Brush rinse, N2 Blow and N2 Purge
Front side unit 4:
Vacuum chuck
Bursh nozzle
Jet nozzle
DIW 1, DIW 2, Back rinse, D-Sonic rinse, Jet rinse, N2 Blow and N2 Purge
Spin motor missing
Side cabinet:
Jet pump
Megon cabinet
1998 vintage.
DNS/DAINIPPON SSW-60A-AR wafer and mask scrubber est un scrubber de haute précision utilisé pour laver les plaquettes de silicium et les masques de coupe. Le modèle DNS SSW60A-AR est une mise à jour du modèle SSW-60A, avec des performances améliorées et une efficacité opérationnelle améliorée. La machine dispose d'un équipement avancé de nettoyage à jet d'eau avec des têtes de jet à double buse capables de régler l'angle et l'intensité du jet pour nettoyer efficacement les plaquettes et les masques. Une brosse à grande vitesse élimine les particules et les contaminants des plaquettes et des masques, et l'épurateur est capable de travailler avec une variété de tailles, de formes et de matériaux. L'épurateur dispose d'un scintillateur de 15 pouces transparent et sans contact (TCNT), qui permet une détection et une mesure rapides, précises et fiables des couches minces et des particules. Le système intégré de minilab haute résolution permet de prendre des images de test détaillées des plaquettes et des masques, permettant l'analyse et l'évaluation de leur propreté. DAINIPPON SS-W60A-AR dispose également d'une unité de surveillance avancée « CX » qui permet à l'utilisateur d'ajuster le niveau de propreté, de nettoyer les plaquettes et les masques et de surveiller le processus de nettoyage en temps réel. La machine d'opération de l'épurateur peut être programmée pour exécuter automatiquement une variété de fonctions, y compris définir les paramètres de nettoyage, déterminer si le processus de nettoyage est réussi, et automatiser le retrait et le stockage des plaquettes et des masques nettoyés. Pour plus de sécurité, la machine dispose d'un outil de détection de sécurité qui arrête automatiquement l'épurateur si une anomalie est détectée, et dispose également d'un atout air-douche qui réduit considérablement la contamination par la poussière. SSW-60A-AR est également très efficace, a un temps de cycle court, et une faible consommation d'énergie. Dans l'ensemble, DNS/DAINIPPON SSW 60A-AR wafer and mask scrubber est un must pour tous ceux qui recherchent une machine avancée, rentable et polyvalente pour garder leurs plaquettes et masques de silicium propres. Avec ses performances supérieures, son interface conviviale et son large éventail de fonctions, DAINIPPON SSW60A-AR scrubber est garanti pour faire le travail.
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