Occasion KOCAT KSI-701 #9314418 à vendre en France
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ID: 9314418
Wet scrubber for ICP
Capacity: 500 SLM
Interlock: flow sensor, level sensor
Processing gas: HCl, HF, Cl2, BCl3, SiH2Cl2, HBr, POCl3, NH3
Processing efficiency : >99%
Power: AC220V, max 5KW, normal 3KW
N2: 4-7kg/cm2
CW: 2-5kg/cm2, 2-5L/min, NPT 1/2"
Overflow drain: Acid drain, 2-5L/min, NPT 2"
Maintenance Drain: NPT 1/2"
Gas inlet: 3 port, NW50
(3) Process exhaust : -50--100mmH2O, 2m3/min
Dimension(W×D×H): 710×220×1650 mm
Weight: 350 kg
2011 vintage.
KOCAT KSI-701 est un épurateur de wafer et de masque haut de gamme fabriqué par KOCAT Corporation. Il est conçu pour être utilisé dans des applications d'assemblage et de traitement de semi-conducteurs, ce qui le rend idéal pour les besoins des grandes lignes de production. KOCAT KSI 701 offre des performances supérieures et une facilité d'utilisation, avec une large gamme de fonctions de nettoyage, d'épuration et de polissage. Son but premier est d'aider dans le processus de nettoyage et de restauration des surfaces des plaquettes et des masques utilisés dans divers processus de production arrière. Il est capable de nettoyer les deux côtés de la plaquette ou du masque indépendamment, ce qui permet de nettoyer rapidement et efficacement les travaux de production de masse. KSI-701 est également en mesure de réduire la contamination et d'autres accumulations sur les surfaces des pièces en utilisant qui est très efficace et efficace. KSI 701 est une machine entièrement automatisée qui est capable de nettoyer, nettoyer et polir les plaquettes et les masques à un haut niveau de qualité. Ceci est réalisé par la gamme de fonctions intégrées, telles qu'une table de lavage X-Y, un système de lavage VPI linéaire, et un système de lavage oscillant. Son wafer-handler avancé ajoute également à ses capacités de nettoyage, car la machine peut manipuler facilement des wafers de 25 mm de diamètre. Sur le plan de la sécurité et de l'entretien, KOCAT KSI-701 dispose de divers dispositifs de protection, tels qu'un dispositif d'interception du couvercle, une fonction d'arrêt du gaz et une fonction d'arrêt automatique de l'eau. Cela garantit un fonctionnement sûr et contribue à réduire le besoin de maintenance manuelle. Il dispose également d'une gamme d'alarmes et de capteurs, qui lui permettent de détecter toute irrégularité dans ses opérations afin de protéger les pièces à nettoyer des dommages. KOCAT KSI 701 est un produit innovant conçu pour des applications de production de semi-conducteurs à petite et grande échelle, offrant un large éventail de fonctions de nettoyage, d'épuration et de polissage. Il est fiable, efficace et facile à utiliser, ce qui le rend idéal pour les exigences des lignes de production haut de gamme et d'entrée de gamme. En outre, ses caractéristiques de sécurité et de surveillance avancées garantissent que la qualité et la sécurité ne sont jamais compromises pour la vitesse.
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