Occasion LAM RESEARCH 2300 Coronus #293665044 à vendre en France
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Vendu
ID: 293665044
Style Vintage: 2008
System
MF
FI
AC Rack
(3) Chambers
(2) Load ports
2008 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Coronus est un laveur de plaquettes et de masques qui fournit un contrôle de nettoyage avancé pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. 2300 Coronus est conçu pour éliminer efficacement les contaminants tout en maintenant un contrôle précis du processus d'épuration. L'épurateur utilise une combinaison de vide, de solution de nettoyage et de technologie à ultrasons pour éliminer efficacement les particules et les impuretés des plaquettes et des masques. Le processus de nettoyage est surveillé par un contrôleur avec un affichage graphique en temps réel qui montre les paramètres actuels et historiques de nettoyage des plaquettes et des masques. Le laveur est équipé d'une tête de lavage à cantilever réglable pour une efficacité de lavage optimale. Cette tête d'épuration est conçue pour offrir une plus grande couverture de nettoyage tout en minimisant les dommages au bord de la plaquette. La tête d'épuration est également réglable pour nettoyer la taille des particules, la pression d'épuration et le mouvement alternatif. L'épurateur utilise un équipement d'épuration à trois zones qui comprend une zone sèche par évaporation, une zone de transfert en salle blanche et une zone de lavage. Dans la zone sèche évaporative, la plaquette est balayée par des jets d'air et simultanément nettoyée par une action ultrasonore-vibratoire pour une propreté maximale du profil de la puce. La zone de transfert de la pièce blanche isole les particules vaporisées et les empêche de se déposer à nouveau sur la plaquette pendant le transfert, tandis que la zone de lavage utilise une action d'épuration douce pour enlever efficacement les débris. En plus du système d'épuration à trois zones, LAM RESEARCH 2300 Coronus dispose également d'une unité de distribution de fluide. Cette machine est conçue pour appliquer la quantité et le type appropriés de la chimie de nettoyage sur la plaquette. L'outil est capable d'appliquer diverses chimies, telles que HFE, IPA et DI Water, tout en surveillant et contrôlant avec précision les paramètres de nettoyage pour garantir des résultats de nettoyage optimaux. 2300 Coronus est conçu pour les opérations à haut débit et fournit une large gamme d'options de contrôle de processus. Il est équipé d'un logiciel avancé qui prend en charge les recettes programmables par l'utilisateur et l'enregistrement. Le logiciel dispose également de fonctions de sécurité intégrées telles que le suivi des plaquettes et des masques, les notifications d'alarme et l'arrêt automatique. LAM RESEARCH 2300 Coronus est un outil efficace et fiable pour le lavage précis et efficace des plaquettes et des masques.
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