Occasion LAM RESEARCH 2300 Coronus #293668768 à vendre en France

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LAM RESEARCH 2300 Coronus
Vendu
ID: 293668768
Wafer cleaning system.
LAM RESEARCH 2300 Coronus est un épurateur à wafer et masque conçu pour les procédés semi-conducteurs de haute technologie. L'épurateur utilise un système propriétaire composé de réseaux de sources d'ions sophistiqués pour fournir un nettoyage de haute précision et une technologie avancée de sources de plasma afin de maximiser la puissance d'épuration et de nettoyage. Le Coronus est conçu pour une variété d'applications, y compris l'utilisation dans l'épuration humide et sèche, le nettoyage des masques, l'épuration des plaquettes et la cendre de plasma. Le Coronus est composé de quelques composants principaux. Il dispose d'un réseau de sources d'ions, d'une alimentation électrique, d'une pompe à vide et d'un bras robotisé qui déplace l'outil sur la surface du substrat. Le réseau de sources d'ions fournit un nettoyage plasma intense de particules extrêmement petites et peut être accordé à différentes longueurs d'onde et énergies selon l'application. L'alimentation contrôle l'intensité du plasma pour assurer un nettoyage précis tandis que la pompe à vide maintient la propreté interne de l'outil et du substrat. Le bras robotique permet un lavage automatisé qui amène le traitement de la plaquette ou du masque à un seul point de fonctionnement. Le système avancé de nettoyage plasma de Coronus peut traiter des substrats jusqu'à 12 pouces de taille, avec une vitesse de nettoyage jusqu'à trois fois plus rapide que l'épuration manuelle. L'outil est également conçu pour supporter des substrats de plaquettes de toutes formes, tailles et compositions. Le design robuste et l'électronique de pointe du Coronus lui permettent de nettoyer efficacement même les surfaces les plus difficiles. Le Coronus est extrêmement économe en énergie et a une conception respectueuse de l'environnement qui limite les émissions de gaz indésirables tout en maintenant des performances élevées et un faible entretien. La conception modulaire de l'unité et l'architecture ouverte le rendent facile à entretenir et à mettre à niveau. De plus, le Coronus étant compatible avec une large gamme de systèmes d'automatisation et de surveillance des processus, il est capable de s'intégrer rapidement dans les lignes de production de semi-conducteurs existantes. Dans l'ensemble, 2300 Coronus est une plaque et un épurateur de masque fiable et efficace spécialement conçu pour une utilisation dans la production de semi-conducteurs. Il combine technologie plasma de pointe et automatisation pour fournir un nettoyage précis et des résultats de haute performance. La conception modulaire et l'architecture flexible du Coronus en font un outil hautement capable de répondre à une variété de besoins.
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