Occasion LAM RESEARCH DSS 200 Series II #9180956 à vendre en France
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Vendu
ID: 9180956
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1996
Scrubber, 6"
Double brush
Loading station, 6"
Touchscreen operation
Particle size: 45-65 Wafern / h
Volume electric data: 220 V, 16 A
1996 vintage.
LAM RESEARCH DSS 200 Série II wafer and mask scrubber est un équipement spécialisé conçu pour nettoyer les wafers et masques semi-conducteurs avant traitement ultérieur. Il élimine les particules et nettoie la surface des plaquettes, ce qui constitue une première étape clé du processus de production des semi-conducteurs. L'unité dispose d'une technologie de lavage par ultrasons de pointe, qui est le moyen le plus efficace disponible pour nettoyer les plaquettes. L'épurateur DSS 200 dispose d'un réservoir d'épuration de 10 litres et est conçu pour une compatibilité chimique complète. Il dispose d'un système de levage aérien intégré pour les plaquettes de plus grand diamètre, permettant un chargement et un déchargement plus faciles. L'unité d'épuration est conçue pour réduire la génération de particules avec ses buses en acier inoxydable à faible vitesse et son mouvement d'épuration conforme. Les buses sont capables de produire un cycle de nettoyage réglable de 0,2 à 8 minutes, ainsi qu'une puissance d'épuration variable de 10 à 30 impulsions par seconde (PPS). La machine dispose d'un outil de notification intégré qui avertit les opérateurs lorsque la maintenance doit être effectuée, et offre un panneau d'affichage OLED facile à lire pour ajuster les paramètres et contrôler le cycle d'épuration. L'écran tactile permet aux utilisateurs de visualiser, d'ajuster et d'enregistrer leurs paramètres pour une utilisation future, ce qui aide à réduire le temps passé à le configurer pour chaque utilisation. De plus, l'actif dispose d'un modèle de vide intégré de plaquettes pour recueillir tout résidu restant du cycle de nettoyage. Le DSS 200 est capable de manipuler des tailles de plaquettes non conventionnelles et peut accepter des plaquettes ISE (Integrated Silicon Edge) de 75mm x 100mm à 200mm sans fixations spéciales. Cette caractéristique améliore l'efficacité de l'équipement de lavage puisque les dimensions classiques des plaquettes nécessitent des adaptateurs de montage. En outre, il a une plage de température nominale de l'eau de 30 à 60 degrés Celsius avec une plage de température réglable de 0 à 75 degrés Celsius. En conclusion, DSS 200 Série II Wafer & Mask Scrubber est un système efficace et fiable pour éliminer les particules des plaquettes et des masques avant leur traitement ultérieur. L'unité est conçue pour la compatibilité chimique, a un cycle de nettoyage réglable, et est capable de manipuler différentes tailles de plaquettes. Grâce à ces caractéristiques, la machine permet de réduire le temps de traitement des plaquettes et d'améliorer l'efficacité du débit.
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