Occasion LAM RESEARCH DSS 200 #9390058 à vendre en France
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LAM RESEARCH DSS 200 est un laveur de wafer et de masque avancé utilisé pour nettoyer et nettoyer toute plaque de semi-conducteur et surface de photomasque. Cet épurateur utilise une variété de techniques de nettoyage conçues pour assurer un nettoyage complet tout en évitant d'endommager les couches sensibles de plaquettes et de photomasques. LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200 fonctionne en utilisant une combinaison de nettoyage ultra-rapide et de nettoyage laser Er : YAG. Pendant l'épuration, une série de têtes d'épuration commandées par des ensembles de bras motorisés de précision se déplacent à travers la surface de la plaquette et de la photomasque à des vitesses nominales allant jusqu'à 18 m/s, soit 60 000 coups de gommage par minute. Cette action d'épuration est réalisée par l'utilisation de trois brosses contre-rotatives en poils polymères à haut duromètre. Chaque brosse est commandée individuellement et programmée de façon unique en fonction de la pression, de l'angle et de la vitesse pour assurer un nettoyage uniforme de la surface de la plaquette ou de la photomasque. Le laser Er : YAG est également utilisé pour nettoyer les surfaces des plaquettes et des photomasques. Le laser peut éliminer les petites particules et les contaminants qui peuvent se fixer à la surface des plaquettes et des photomasques pendant le traitement. Le laser est délivré à la surface de la plaquette ou de la photomasque par un faisceau lumineux focalisé qui est précisément contrôlé par un système optique interne. On élimine ainsi les particules qui restent en surface une fois le processus de lavage terminé. Le DSS 200 peut être utilisé pour nettoyer une grande variété de plaquettes et de photomasques semi-conducteurs, y compris des films bas k, SOI et substrat. L'épurateur est entièrement automatisé et sa logique de contrôle peut être adaptée aux besoins spécifiques de l'utilisateur. En outre, le scrubber utilise tous les protocoles de connexion standard de l'industrie, y compris série, Ethernet et SCSI. ONTRAK DSS 200 wafer and mask scrubber est un outil avancé conçu pour fournir le plus haut niveau de wafer et de nettoyage photomask disponible. Sa combinaison d'épuration et de nettoyage au laser lui permet d'éliminer même les contaminants les plus tenaces tout en évitant d'endommager les couches sensibles des appareils. LAM RESEARCH DSS 200 est un outil essentiel pour les fabricants de semi-conducteurs qui ont besoin d'un nettoyage précis et fiable de leurs surfaces de plaquettes et de photomasques.
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