Occasion MAT 1207BWA #9153452 à vendre en France
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ID: 9153452
Gas scurbber
Gas purge
Parts & utility:
Wet: Water recirculation system
Burn: Heater heating 700℃ over
Control: PLC Control & touch panel
Utility: Exhaust ©ª100
Electric power: 208V
Air: 1/2
N2: 1/4
City water: 1/2.
MAT 1207BWA est un épurateur à plaquettes et masques conçu pour assurer la protection contre l'oxydation et la propreté des photomasques. Cet épurateur peut enlever complètement et en toute sécurité tout résidu restant des masques après avoir terminé leur processus complet de gravure ou de nettoyage. Il est activé avec diverses fonctionnalités qui offrent des performances de nettoyage supérieures telles qu'une plate-forme de lavage des plaquettes et masques de chargement supérieur, un processus de nettoyage en plusieurs étapes puissant, et un équipement de contrôle de température sous-ambient intégré. L'épurateur utilise un procédé de nettoyage en plusieurs étapes à haute puissance qui utilise un mélange de solutions de solvant et de détergent ainsi qu'une action mécanique pour nettoyer complètement la surface de la plaquette et du masque. Ce procédé élimine divers contaminants tels que poussières, débris, particules, photorésist résiduel et monomères laissés à la surface de la plaquette ou du masque après la fin du processus de gravure ou de nettoyage. Au fur et à mesure que la plate-forme de lavage se déplace, les brosses tournent pour permettre à la solution détergente de nettoyer la surface de la plaquette et du masque. Le processus d'épuration est très efficace et puissant pour éliminer même les résidus les plus tenaces. 1207BWA épurateur est équipé d'un système de régulation de la température sous-ambiante qui offre un contrôle précis de la température tout au long du processus de nettoyage moléculaire. Ce contrôle de température permet de maintenir l'intégrité de la surface tout en offrant un environnement optimal pour permettre à la solution détergente d'assurer une propreté profonde et efficace. Ces contrôles de température empêchent également la formation de condensation - qui peut entraîner une contamination chimique - en maintenant la surface de la plaquette et le masque frais. Afin d'assurer le plus haut niveau de propreté des plaquettes et des masques, l'épurateur est également équipé d'une unité intégrée de purification de l'air. Cette machine d'épuration est capable d'éliminer les particules de poussière, les débris et autres photorésist résiduels et les débris de l'air afin d'éviter la recontamination de la plaquette et du masque pendant le processus d'épuration. MAT 1207BWA wafer and mask scrubber offre une propreté supérieure et une protection d'oxydation pour tous les photomasques. Il utilise une combinaison d'un puissant processus d'épuration et d'un outil précis de contrôle de la température pour assurer une propreté optimale de la surface, tandis que son actif de purification de l'air élimine les poussières, les débris et tout photorésist ou débris restants qui pourraient conduire à une contamination supplémentaire. Avec ses caractéristiques avancées, cet épurateur est une solution fiable et efficace pour tout processus de nettoyage des photomasques.
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