Occasion MTI MULTIFAB #97293 à vendre en France
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ID: 97293
Taille de la plaquette: 6"
Developer
Set up for 6" wafers with cassette to cassette transfer using robotic handler
Develop bowl
Pneumatic hot plate, second hot plate available at additional cost
Develop module can be set up with puddle dispense or fan spray dispense
Develop module will be set up with one side dispense for DI water
Spare parts package included ($5,000 value)
Additional dispense such as backside EBR, backside wash, top side EBR or bowl wash are available.
MTI MULTIFAB est un nettoyeur de plaquettes et de masques qui assure un nettoyage efficace, cohérent et répétable des plaquettes et des masques. Il utilise une combinaison de procédés électrochimiques, d'épuration de l'eau ultra-pure et d'épuration en phase vapeur pour éliminer en toute sécurité et rapidement les particules de surface, la contamination et les résidus. MULTIFAB est spécifiquement conçu pour offrir des performances de nettoyage maximales sans endommager les surfaces sensibles. En combinant plusieurs technologies de nettoyage, MTI MULTIFAB est le système d'épuration le plus polyvalent et le plus robuste du marché. MULTIFAB est conçu pour nettoyer efficacement diverses surfaces, telles que le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium, le verre ou le métal. Il nettoyera également une variété de contaminants, comme les photorésistants, les résidus de gravure et les particules. Il est conçu pour éliminer les résidus organiques ou inorganiques. Les procédés électrochimiques mis en oeuvre par MTI MULTIFAB impliquent le passage d'ions énergétiques à travers une solution pour attirer et décomposer des liaisons chimiques sur les surfaces du substrat ou du masque. Cela élimine efficacement les particules de surface, les contaminants et les résidus. La combinaison du lavage et des procédés chimiques garantit des performances de nettoyage efficaces, cohérentes et reproductibles. En plus des procédés électrochimiques, MULTIFAB utilise également un procédé d'épuration de l'eau ultra-pure. Il utilise de l'eau ultra-pure pour desserrer les particules sur le substrat ou masquer les surfaces. Ce processus les rend vulnérables aux processus électrochimiques et élimine rapidement les contaminants des surfaces. MTI MULTIFAB utilise également un procédé avancé d'épuration en phase vapeur pour nettoyer efficacement les substrats et les masques. Ce procédé utilise une fine brume d'eau ultra-pure est pulvérisée sur la surface afin de pénétrer profondément dans la surface et de perturber tout contaminant ou particules de résidus. La technologie de recyclage avancée permet un nettoyage continu des plaquettes et des masques sur de longues périodes de temps. MULTIFAB est conçu pour maintenir les coûts opérationnels bas tout en maintenant des résultats de haute qualité. Il utilise des réservoirs de fluide de grande capacité, permettant de prolonger les cycles d'épuration tout en permettant un fonctionnement rentable. Il dispose également d'une interface utilisateur avancée qui permet d'effectuer le fonctionnement et la maintenance rapidement et facilement. MTI MULTIFAB fournit un nettoyage fiable et efficace pour une variété de matériaux de plaquettes et de masques. Sa combinaison de procédés, de réservoirs de fluide avancés et d'interface utilisateur garantit une solution rentable qui permet de nettoyer rapidement et efficacement les substrats et les masques. C'est le système d'épuration le plus polyvalent et le plus robuste du marché.
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