Occasion NIKON NRW-504 #9137286 à vendre en France

NIKON NRW-504 Wafer & Mask Scrubber est conçu pour nettoyer les plaquettes et les masques avant et/ou après le traitement. Cette machine a été conçue pour utiliser une combinaison de gaz et d'action physique d'épuration pour éliminer les particules et les contaminants des plaquettes et des masques. L'action d'épuration des gaz utilise un équipement de commande qui est enfermé dans une coque en acier inoxydable et est relié au boîtier d'épuration. Ce système injecte un flux régulé de gaz purifié à une vitesse spécifique et à une température contrôlée dans la chambre d'épuration. L'épuration des gaz élimine les particules, les poussières et les autres contaminants qui se sont déposés sur la surface de la plaquette ou du masque. L'action physique d'épuration utilise un ensemble à brosse mécanique entraíné par un moteur pas à pas qui est situé dans la partie inférieure du boîtier d'épuration. Cet ensemble de brosses, constitué d'une variété de brosses de nettoyage, tournera sur son propre axe et frottera la surface de la plaquette ou du masque pour éliminer les particules indésirables. La vitesse de rotation peut être ajustée si nécessaire pour que le niveau approprié et cohérent d'action de lavage soit appliqué sur la surface de la plaquette ou du masque. La plaquette et les glissières de masque et les composants de transfert linéaires sont construits en acier inoxydable avec des surfaces d'appui dures/lisses. Cela garantit que tout mouvement contrôlé fournit une unité d'exploitation environnementale fluide et cohérente. La machine de transfert linéaire en option a été conçue pour offrir une protection supplémentaire pendant le transfert d'une station à l'autre. Les actions d'épuration physique et de gaz combinées offrent des performances de nettoyage cohérentes et fiables. L'épurateur et ses composants sont conçus pour être conviviaux et peuvent être utilisés simplement avec une instruction et une formation minimales. NRW-504 Wafer & Mask Scrubber fournit une méthode sûre et efficace pour nettoyer les plaquettes et les masques. Le boîtier d'épuration est construit en acier à paroi unique et répond aux exigences de la classe 10000 pour le fonctionnement en salle blanche. L'outil de contrôle, le mouvement contrôlé par le robot et les capacités de suivi des données se combinent pour fournir des performances fiables et répétables en répondant aux normes les plus élevées de propreté.