Occasion SVG 8600 #293758579 à vendre en France

SVG 8600 est un laveur de wafer et de masque, un équipement avancé de nettoyage à sec et humide de SVG. Le système assure un nettoyage efficace et reproductible et un traitement optimisé pour les chaînes de production de semi-conducteurs et de panneaux plats (FPD) à forte intensité de microlithographie. Il est équipé d'un boîtier dur de classe 1 et d'un mécanisme de chargement latéral pouvant accueillir à la fois des substrats de plaquettes et de masques - en formats plat ou cassette. Le lavage commence par un jet de plasma à pression atmosphérique breveté qui est optimisé pour éliminer les particules, les films et les résidus de la surface des substrats de la plaquette ou du masque. Ce jet de plasma développe une charge superficielle qui permet au procédé d'éliminer les métaux fortement chargés, tels que le cuivre et l'aluminium. Ensuite, la technique de lavage composé utilise un mouvement mécanique agressif combiné à un lubrifiant exclusif pour éliminer les contaminants pour un nettoyage plus efficace. Pour améliorer encore le processus de lavage, 8600 dispose d'un lavage multi-étapes. Ce lavage utilise des pulvérisateurs dé-ionisés haute pression pour fournir un nettoyage plus complet et plus complet que n'importe quelle unité en une seule étape actuellement disponible sur le marché. La pulvérisation est libérée d'un banc de buses avancées qui sont conçues pour couvrir toute la surface du substrat. En plus de ses capacités d'épuration améliorées, SVG 8600 dispose également d'une variété de mesures de précision pour surveiller et contrôler le processus de nettoyage. La machine dispose à la fois de mesures d'espacement des contacts et de diamètres de plaquettes, ainsi que d'un outil de suivi des bords qui permet un contrôle précis du processus. Enfin, 8600 dispose de nombreuses capacités logicielles qui lui permettent de s'intégrer facilement dans les architectures de contrôle de processus existantes. Son logiciel de sous-système Repeat Clean Cell (RCC) permet non seulement d'automatiser le processus de nettoyage, mais aussi de faciliter la collecte et l'analyse de données, afin d'assurer des résultats fiables et cohérents de l'exécution à l'exécution. De cette façon, il assure un nettoyage de la plus haute qualité pour tous les types de substrats et applications. Dans l'ensemble, SVG 8600 fournit un outil de nettoyage puissant et précis qui est conçu pour maximiser la qualité et minimiser les temps de cycle. Grâce à son processus de nettoyage avancé et à des mesures poussées, il offre une finition de surface propre et cohérente, ainsi qu'une fiabilité et une répétabilité supérieures. 8600 est le choix idéal pour toute ligne de production à forte intensité de microlithographie.