Occasion SVG 8600 #9411945 à vendre en France

SVG 8600
Fabricant
SVG
Modèle
8600
ID: 9411945
Taille de la plaquette: 4"
Polyimide track, 4".
SVG 8600 est un nettoyeur de wafer et de masque de Semi-Tek, un fabricant leader d'équipements de traitement de semi-conducteurs. Cet épurateur est destiné à assurer un nettoyage supérieur des contaminants de surface, tels que la photorésist, sur les plaquettes et masques semi-conducteurs. Son processus de nettoyage est entièrement automatisé et utilise des radicaux d'oxygène pour assurer un substrat entièrement propre. 8600 est un équipement de nettoyage polyvalent et fiable. Il utilise un vide d'oxygène pour éliminer les résidus générés par le processus sans modifier les propriétés du substrat et du masque. Le système peut manipuler des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre et des masques jusqu'à 10 pouces de taille. De plus, il est équipé d'une unité d'épuration intégrée pour éliminer les particules et les contaminants de la surface. SVG 8600 utilise un cycle de nettoyage en deux étapes. La première étape utilise une vapeur d'oxygène pour éliminer les composés organiques de la surface. Cette vapeur est créée dans une chambre de réaction étanche et délivrée à travers la plaquette ou le masque. La vapeur réagit alors avec les composés organiques en surface, se fixant sur eux et les décomposant en radicaux oxygénés. Dans la deuxième étape du cycle de nettoyage, les radicaux d'oxygène se fixent sur les surfaces de particules et de contaminants en les oxydant. Après oxydation, les gaz et les particules sont évacués de la surface par le vide. Ce procédé est répété plusieurs fois et est conçu pour fournir des substrats et des masques plus propres que les procédés typiques d'épuration par voie humide. La machine est contrôlée et surveillée par une suite logicielle basée sur PC. Cette suite comprend un support pour le diagnostic des défauts et une bibliothèque de défauts et de solutions communs qui guident l'opérateur de l'outil tout au long du processus de dépannage. Il fournit également des rapports en temps réel sur les paramètres des actifs et peut être interfacé avec les logiciels de gestion des processus. Le modèle est également entièrement personnalisable. La tête de lavage peut être déplacée dans les directions x et y pour permettre le nettoyage de différentes formes et tailles de substrats. De plus, la vitesse de marche et le temps de séjour peuvent être ajustés pour permettre à l'utilisateur d'adapter les paramètres de nettoyage aux exigences spécifiques. L'équipement est également équipé d'un ioniseur pour éliminer l'électricité statique du substrat ou du masque avant nettoyage. En conclusion, 8600 est un laveur automatisé de plaquettes et de masques conçu pour un nettoyage supérieur et la décontamination de surface. Il est polyvalent et offre un cycle de nettoyage entièrement personnalisable et une suite logicielle de diagnostic pour le dépannage. Il est fiable, efficace et assure un substrat et un masque propres à chaque fois.
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