Occasion SVG 8620 #293609704 à vendre en France
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SVG 8620 est un lave-masque de précision utilisé pour le nettoyage des plaquettes et substrats semi-conducteurs dans les applications de production et de R&D. 8620 est un épurateur à tête unique capable de traiter des surfaces comprises entre 150 mm et 200 mm. L'épurateur est alimenté par un système intégré d'alimentation en force centrifuge, fournissant des vitesses d'épuration constantes de 0 à 25 mouvement/min. Un bras de rotation d'indexation en option est également disponible pour le lavage des substrats jusqu'à 300 mm. L'épurateur dispose d'une technologie de nettoyage spatial, qui garantit que la saleté et les particules sont efficacement éliminées du bord de la plaquette pendant le fonctionnement. Pour ce faire, on utilise un trajet transversal, où la tête de lavage tourne à travers un motif d'onde polycyclique. Ce motif en forme d'onde suit l'axe longitudinal du substrat, orientant ensuite l'applicateur de lavage vers le bord du substrat afin d'éliminer efficacement les impuretés qui s'y sont déposées. L'épurateur est conçu pour être utilisé avec de l'eau distillée et une solution de nettoyage à faible pH d'isopropanol. En utilisant une solution de nettoyage à base de détergent contenant des tensioactifs, l'épurateur est en mesure d'assurer un nettoyage complet des substrats de la plaquette et du masque, éliminant les impuretés organiques et inorganiques qui pourraient autrement être oubliées par un processus de nettoyage individualisé. La machine comprend également une caméra CCD intégrée qui permet la surveillance visuelle et l'inspection du processus d'épuration, assurant que le nettoyage est cohérent et efficace. L'épurateur peut également être automatisé pour fonctionner en tandem avec les processus de dépôt et d'élimination des métaux CMOS et MEMS, ce qui permet d'achever les projets plus rapidement et plus efficacement que les méthodes traditionnelles. Cette automatisation est réalisée avec l'utilisation d'un bras robotisé qui permet à la tête de lavage d'être toujours dans la bonne position lors de l'utilisation, ainsi que de repositionner la tête de lavage après chaque utilisation. La machine est également équipée d'un système informatique avancé qui permet de contrôler le temps de nettoyage, l'utilisation des solutions de nettoyage et d'autres variables afin d'assurer une performance et une cohérence optimales. Globalement, SVG 8620 est un épurateur efficace et performant, capable de nettoyer les substrats entre 150 mm et 300 mm et d'éliminer les impuretés organiques et inorganiques, assurant un nettoyage supérieur pour les substrats de plaquettes et de masques. La machine comprend également des systèmes avancés d'automatisation, d'inspection et de surveillance, assurant un nettoyage cohérent et efficace, peu importe la taille ou le type du substrat.
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