Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Cellesta #67641 à vendre en France
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Vendu
ID: 67641
Taille de la plaquette: 12"
Wafer clean tool, 12", 8 SVOS and 4 Spin
Includes:
Platform
SC1 Unit
SC2 Unit
DHF (1:10) Unit
O3 Cleaner
(Qty 4) SWC Spin Unit
(Qty 8) SVOS Unit
CO2 Injection Unit
03 Generator with O3 Killer
SC1 Concentration Monitor
SC2 Concentration Monitor
DHF (1:10) Concentration Monitor
(Qty 2) N2 Flow Controller.
TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta est un épurateur de wafer et de masque, axé sur le nettoyage précis et fiable des photomasques et des wafers utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une vitesse et une efficacité supérieures dans le nettoyage des plaquettes. TEL Cellesta dispose de quatre modèles qui nettoient efficacement une large gamme de photomasques, dont le quartz, le plat optique, le quartz et le verre. TOKYO ELECTRON Cellesta utilise la gravure humide, un procédé qui nettoie les surfaces des masques et des plaquettes avec des solutions telles que le fluorure d'hydrogène. Le processus de gravure humide aide à éliminer les particules et les contaminants qui peuvent causer des défauts dans les photomasques. Il assure des impressions sans défaut sur les plaquettes et les masques tout en maintenant la qualité des produits finis. Cellesta utilise des procédés en trois étapes pour assurer un nettoyage adéquat. Dans un premier temps, un laveur chimique prépare la surface de la plaquette pour accepter la solution de gravure. Cela aide à libérer tous les contaminants de la surface, qui est alors prête pour la deuxième étape, la légère gravure humide. Dans la deuxième étape, avec une buse précise et uniforme, la solution de gravure est projetée sur la surface de la plaquette. Cela aide à dissoudre les particules, contaminants et résidus organiques de la plaquette sans endommager sa composition chimique ou les propriétés optiques sensibles. Dans la troisième étape, TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta permet le séchage en utilisant des faisceaux à haute énergie pour évaporer la solution de gravure. TEL Cellesta dispose également d'un module de désoxydation supplémentaire, qui utilise le rayonnement ultraviolet pour réduire les contaminants résiduels sur les surfaces du masque et de la plaquette. Cela permet de créer une meilleure solution de gravure et de réduire le temps de nettoyage. En outre, un système de contrôle de haute technologie permet de minimiser la contamination et de suivre l'utilisation chimique de la solution de gravure, en minimisant les déchets et le coût. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Cellesta est un nettoyeur de plaquettes et de masques efficace qui aide à nettoyer les photomasques et les plaquettes avec la plus grande précision et précision. Il contribue à maintenir la composition chimique et les propriétés optiques des produits finis.
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