Occasion ULTRA-T EQUIPMENT / UTE SCS i124 #9179533 à vendre en France
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ID: 9179533
Substrate cleaning system
Cleaning options:
Pressure / Megasonic nozzles
Chemical dispenses
Heated DI water
Substrates: Upto 12” to 20” diameter.
ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCS i124 est un laveur semi-automatique de plaquettes et de masques conçu pour répondre aux exigences de volume élevé dans la fabrication de semi-conducteurs. La machine est capable d'épurer plusieurs combinaisons de plaquettes et de masques, avec un débit allant jusqu'à 12 plaquettes par minute. UTE SCS i124 fournit un contrôle précis du processus d'épuration pour garantir des résultats de haute qualité pour des performances cohérentes de l'appareil. ULTRA-T EQUIPMENT SCSI124 dispose d'un équipement intégré de transport de plaquettes avec un bras de transfert dédié. Il fournit un processus lisse et fiable, pour déplacer les plaquettes et les masques sur les épurateurs et dans la chambre de nettoyage. L'épurateur est chargé d'une station de séchage pour un nettoyage approfondi. Le processus de nettoyage peut être ajusté pour obtenir un large éventail de résultats, y compris le nettoyage agressif des particules organiques, le nettoyage des couches d'oxyde, la gravure d'oxyde, ou le reconditionnement. SCSI124 est équipé de modules d'épuration à trois axes et de processus de nettoyage automatisés, permettant une transition rapide de l'épuration au séchage ou à un cycle d'épuration supplémentaire. Les modules d'épuration disposent d'une pression et d'une vitesse de nettoyage réglables pour un contrôle précis des paramètres de nettoyage. L'ÉQUIPEMENT ULTRA-T SCS i124 est capable de produire des résultats de haute qualité, quelle que soit la surface de la plaquette, en raison des paramètres de nettoyage variables de l'épurateur. UTE SCSI124 est également équipé d'un système de vision avancé qui est utilisé pour surveiller les conditions des plaquettes et des masques, avant et après le lavage. L'unité de vision est conçue pour détecter et identifier des contaminants aussi petits que ceux présents dans la gamme 0,2-7um. La machine de vision fournit une rétroaction en temps réel sur les résultats de lavage, permettant au personnel de traitement d'effectuer des ajustements à la volée si nécessaire. ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCSI124 a plusieurs caractéristiques de sécurité intégrées dans sa conception. Il est conçu avec un outil activement surveillé pour la détection des dommages/oxydation, et capable de vérifier automatiquement les surfaces des plaquettes et des masques. Les accessoires en option disponibles avec la machine tels que les unités de contrôle de l'azote et de l'humidité, les rinçeurs de spin, les systèmes de vision colorés et le faisceau de trémies permettent un traitement plus efficace et plus performant. SCS i124 fournit un épurateur fiable, de haute qualité et efficace. Il est facile à entretenir, offrant une réduction significative du temps et du coût du cycle de nettoyage en produisant d'excellents résultats constants. ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCS i124 est un choix idéal pour tout environnement de production de semi-conducteurs cherchant à maximiser la productivité avec un nettoyage précis des plaquettes et des masques.
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