Occasion VEECO / SSEC 3304 #293799549 à vendre en France

VEECO/SSEC 3304 est un équipement de graveur/asher très sophistiqué conçu pour le traitement précis et contrôlé de divers substrats dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet outil fait partie intégrante du processus de fabrication des dispositifs microélectroniques avancés, permettant l'élimination des matériaux par gravure sèche et par ashing plasma. SSEC 3304 offre une gamme de capacités et de fonctionnalités qui permettent aux fabricants d'obtenir des résultats de haute qualité avec une répétabilité et une efficacité exceptionnelles. Le système VEECO 3304 etcher/asher est équipé d'une chambre bi-mode qui peut être configurée pour les processus de gravure et d'ashing. Cette polyvalence permet aux utilisateurs d'effectuer un large éventail de tâches d'enlèvement de matériaux, allant du transfert de motifs et de l'isolement des dispositifs au nettoyage des surfaces et à l'enlèvement des films. L'unité utilise une combinaison de chimie du plasma, de contrôle du débit de gaz et de puissance RF pour graver ou cendrer précisément le matériau du substrat avec un minimum de dommages et une excellente sélectivité. Une des caractéristiques clés de la machine 3304 est ses capacités avancées de contrôle des processus. L'outil est équipé d'un ensemble complet de capteurs, de moniteurs et de mécanismes de rétroaction qui permettent la surveillance en temps réel et l'ajustement des paramètres du processus. Ce niveau de contrôle permet aux opérateurs d'optimiser les conditions de processus pour différents matériaux et structures de dispositifs, assurant des vitesses de gravure uniformes, des profondeurs de gravure précises et des dommages minimaux aux parois latérales. L'actif VEECO/SSEC 3304 offre également un haut degré d'automatisation et de gestion des recettes. Les opérateurs peuvent facilement créer et stocker des recettes de processus pour différentes applications, substrats et conceptions d'appareils. L'interface utilisateur intuitive du modèle permet de sélectionner, d'ajuster et d'exécuter rapidement et facilement la recette, de rationaliser le flux de travail et de réduire le risque d'erreur humaine. En termes de performance, l'équipement SSEC 3304 offre une uniformité exceptionnelle de gravure et de cendres sur de grandes surfaces de substrat. L'unité de distribution de gaz avancée du système et la distribution de puissance RF assurent une densité de plasma et une distribution d'énergie cohérentes, ce qui permet d'uniformiser les taux d'enlèvement des matériaux et les profils de gravure. Ce niveau d'homogénéité est crucial pour maintenir les performances et le rendement du dispositif dans la fabrication des semi-conducteurs. La machine VEECO 3304 est également hautement configurable et évolutive, permettant aux utilisateurs d'adapter l'outil aux exigences évolutives des processus et aux progrès technologiques. L'actif peut être équipé d'une gamme de fonctionnalités facultatives, telles que la détection du point final, la métrologie in situ et les capacités de nettoyage des chambres, afin d'améliorer encore les performances et la productivité. Dans l'ensemble, le modèle 3304 etcher/asher est un outil de pointe pour les applications avancées de traitement des semi-conducteurs. Grâce à ses capacités avancées de contrôle des processus, d'automatisation et de performance, l'équipement permet aux fabricants de réaliser des processus précis et reproductibles d'enlèvement de matériaux critiques pour la production de dispositifs microélectroniques de nouvelle génération.