Occasion ASM WS 896 #9159227 à vendre en France
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ID: 9159227
Style Vintage: 2007
Wafer scanners
Currently de-installed
2007 vintage.
L'ASM WS 896 est un marchepied avancé fabriqué par ASM Linx, un fournisseur leader d'équipements de production pour l'industrie des semi-conducteurs. Le stepper est capable de réaliser le processus de lithographie pour les appareils avancés CMOS, MEMS et MEMS-on-CMOS. Le pas de plaquette est équipé d'un moteur 3 axes puissant, qui assure un alignement précis entre les composants du dispositif et une exposition de haute précision de la plaquette. La taille du spot de 4 à 6 mm de l'équipement permet une large gamme de processus, de l'exposition unique aux processus de grille. Le stepper dispose également d'une vitesse d'exposition maximale de 500 plaquettes par heure qui permet d'augmenter la vitesse de production et le débit. En outre, le système est équipé d'une unité optique avancée, qui assure un éclairage uniforme sur l'ensemble du substrat de la plaquette et assure une dose de photon uniforme sur tous les masques et structures. Cela fait de l'ASM WS896 l'un des outils de lithographie les plus fiables et précis disponibles. Le stepper dispose également d'une suite complète de fonctions d'alignement et de contrôle des motifs qui aident à réduire les erreurs de production, et d'une machine de positionnement croisé intégrée pour la plus grande précision. L'outil est livré avec un moniteur CCD de pointe qui permet d'aligner et d'optimiser les paramètres de l'actif. WS 896 dispose également du logiciel de contrôle de gravure EasyRun, permettant des processus de gravure précis, tels que la gravure sèche, ainsi que la gravure humide. Le logiciel de contrôle de gravure permet d'obtenir des paramètres de gravure avancés tels que l'angle de gravure, la vitesse de gravure et la protection du taux de gravure. En outre, WS896 dispose d'une conception pas à pas à faible vibration qui réduit le niveau de bruit produit, rendant le modèle adapté à une utilisation industrielle et améliore les performances de l'outil. L'équipement dispose également d'un certain nombre de caractéristiques de sécurité telles que la surveillance de la température, l'éjection de puissance, et plusieurs limites de sécurité réglables par l'utilisateur. Dans l'ensemble, ASM WS 896 wafer stepper est un outil de lithographie puissant et fiable avec une large gamme de fonctionnalités et de fonctions qui le rendent adapté à un large éventail d'applications. De l'exposition de précision des plaquettes au niveau de la production à la gravure et à l'optimisation des procédés, le système offre une solution fiable et de haute précision pour diverses exigences de production.
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