Occasion ASM WS 896 #9181638 à vendre en France

ASM WS 896 est un pas de plaquette qui utilise une machine de microlithographie optique de pointe pour exposer et développer des plaquettes pour la production à haut volume d'IC et de MEMS. L'équipement comprend un système de manutention multi-axes des plaquettes, un sous-système d'exposition intégré, une unité de surveillance avancée des processus et un poste de nettoyage entièrement automatisé des plaquettes. Le pas utilise une vitesse de 300 mm par deuxième étage (avec des courbes d'accélération/décélération) pour assurer un débit précis et élevé sur une gamme de tailles de plaquettes. En outre, le centrage guidé par laser cartographie les bords périphériques de la plaquette pour une précision de placement optimale. L'ASM WS896 dispose d'une machine de positionnement de plaquettes à haute résolution qui permet à de grands champs de balayage de s'adapter à de multiples techniques d'exposition. Son équipement optique de balayage comprend une projection d'ouverture numérique variable avec des lentilles achromatiques et deux sources d'exposition (ligne g et ligne i). L'outil est également équipé d'un étage multi-zones avancé, intégré à l'actif de synchronisation scanner-étage d'une boucle fermée pour une meilleure précision. Le modèle utilise TTL et TTL avancés avec des techniques optionnelles d'alignement de correction binaire qui sont utilisés pour corriger les erreurs lithographiques et assurer un placement de motif de haute précision. Un équipement automatisé de chargement en vrac assure également un chargement et un déchargement efficaces des plaquettes pour un meilleur débit. En termes de capacités de surveillance des processus, WS 896 est équipé d'un système d'imagerie propriétaire et de métrologie des dimensions critiques (CD). Cette unité surveille les images avant et après exposition de chaque filière pour l'identification automatique des défauts. De plus, une machine de contrôle des processus optiquement basée est utilisée pour surveiller les processus de gravure et non-gravure et détecter la dérive des processus. L'outil est également capable de nettoyer automatiquement les plaquettes exposées à l'aide d'un procédé de nettoyage humide à sec. Ce procédé nettoie la surface de la plaquette sans créer de défauts supplémentaires, améliorant le rendement et la qualité de la plaquette. En résumé, WS896 est un actif pas à pas de plaquettes haute performance qui peut être utilisé pour la production d'IC et de MEMS à haut volume. Il dispose d'un modèle de positionnement de plaquettes de grande précision qui permet des champs de balayage importants et utilise un équipement d'alignement en boucle fermée pour améliorer la précision. Le système est également équipé d'une unité d'imagerie et de métrologie CD, d'une station de nettoyage automatisé des plaquettes et d'une machine de contrôle des processus à base optique pour assurer la stabilité des processus.