Occasion ASML 100D #293817343 à vendre en France
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ASML 100D est un marchepied de plaquettes, ou machine de lithographie, utilisé pour créer des détails plus fins sur les plaquettes de semi-conducteurs dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. La machine est utilisée en combinaison avec un revêtement de résine photosensible sur le substrat de la plaquette, qui réagit à la lumière émise par l'optique de la machine pour projeter des dessins de circuits sur le substrat. ASML/ 100D est capable de produire des images de motifs extrêmement précises jusqu'à une résolution de 0,25 μ m ou 250 nm. L'optique de projection de la machine est basée sur un équipement de miroir cinématique, qui offre une flexibilité totale dans la taille, la forme et l'orientation de l'image de projection. Le système optique est utilisé pour régler la taille de l'image de motif entre 5 μ m et 200 μ m, avec une précision de pas de 0,5 μ m dans tous les axes. 100D a été conçu pour une performance et une flexibilité maximales avec des caractéristiques telles que l'alignement direct intégré des plaquettes, l'optique de l'unité de grande ouverture, et une taille de pas d'image de 0,5 μ m. La machine dispose d'un étage inertiel à plusieurs niveaux qui assure une grande précision et un mouvement lisse tout au long du cycle de balayage de la plaquette, tandis que les pinces de plaquette sont construites pour réduire la contrainte mécanique sur les plaquettes ./ 100D dispose également d'une machine d'uniformité de résistance améliorée qui peut modifier l'image à l'intérieur de la couche de résistance pour tenir compte des distorsions, des fuites de lumière indésirables, ou d'autres variables de niveau de processus. Cette fonction permet aux utilisateurs de maintenir des dimensions critiques dans les motifs de plaquettes jusqu'aux plus petites tailles de fonctionnalités. La machine est capable de traiter des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre, et les modèles haut de gamme disposent de 0,5 seconde temps d'exposition qui permettent un traitement très rapide des matériaux de substrat. ASML 100D supporte également le contrôle à plusieurs niveaux de la forme et de la taille de l'image, ainsi qu'un étage de haute précision pour aligner les plaquettes et optimiser de façon répétable l'alignement des motifs sur la surface du substrat. ASML/ 100D représente une puissante machine de lithographie qui fournit un niveau de précision et de précision sans précédent pour la fabrication de semi-conducteurs. Sa conception avancée en fait un choix populaire pour les processus de fabrication et de production haut de gamme dans l'industrie.
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