Occasion ASML 5000 / 55 #9049734 à vendre en France

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Fabricant
ASML
Modèle
5000 / 55
ID: 9049734
Stepper, 4".
ASML 5000/55 est un pas de plaquette qui est utilisé dans la production de produits semi-conducteurs. C'est un outil très avancé, basé sur la lithographie, capable d'imiter de minuscules caractéristiques sur un substrat. ASML 5000/55 est un équipement de lithographie par faisceau électronique qui utilise une colonne d'électrons à balayage et deux étages d'optique pour visualiser des motifs sur une plaquette ou une puce. La colonne e-faisceau utilise un faisceau de haute tension pour focaliser et dévier les électrons sur une surface, où il crée une image. Les étages optiques grossissent et focalisent le faisceau pour créer une image avec une résolution extrêmement fine. 5000/55 est capable d'imager des fonctionnalités de tailles aussi petites que 4nm, ce qui est essentiel pour développer des microprocesseurs toujours plus petits et plus rapides. Il est conçu pour une production à haut volume et peut traiter jusqu'à 6 "wafers avec un temps de cycle d'aussi peu que 5 secondes par wafer. Le système est composé de plusieurs composants individuels, dont la colonne électronique, les étages optiques, les blanchisseurs de faisceaux et les obturateurs optiques, les systèmes à vide et une unité de transport de plaquettes. La colonne électronique est un mécanisme de précision de l'électronique haute tension, des électro-aimants et des composants utilisés pour créer et diriger le faisceau d'électrons. Les étages optiques utilisent divers éléments pour assurer la manipulation du faisceau de manière à créer les caractéristiques souhaitées sur le substrat. Les découpes de faisceau et les obturateurs optiques sont utilisés pour limiter le point d'interaction entre le faisceau et le substrat, tandis que la machine à vide crée un environnement basse pression idéal pour l'imagerie. Enfin, l'outil de transport de plaquettes, en liaison avec les obturateurs optiques, assure un maintien sécurisé du substrat lors du processus d'imagerie. 5000/55 a une empreinte de moins de 6 mètres carrés et est considéré comme relativement compact pour un atout de ses capacités. Il est facile à installer et à utiliser, mais la mécanique complexe et l'ingénierie nécessaire pour créer l'environnement de vide nécessaire et maintenir la haute tension dans la colonne nécessite une certaine expertise technique.
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