Occasion ASML 5500 / 100C #9032667 à vendre en France

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Fabricant
ASML
Modèle
5500 / 100C
ID: 9032667
Stepper, 1995 vintage.
ASML 5500/100C est un pas de plaquette, qui est un type de machine de lithographie qui est utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Cette machine utilise une série de lentilles et de miroirs pour créer des images qui peuvent ensuite être transférées sur une plaquette. ASML 5500/100C est un modèle à haute résolution qui est capable de produire des images avec des détails très fins, ce qui permet la fabrication d'appareils avec des spécifications de haute performance. 5500/100C peut produire un niveau supérieur de lithographie en transférant des images sur des plaquettes avec une taille d'exposition maximale de 100 millimètres. Il est équipé d'une lentille de projection autofocus de 160 mm et 200 mm, permettant l'impression de divers motifs et substrats avec un haut niveau de précision et de répétabilité. 5500/100C dispose également de deux masques haute résolution, un pour 1x et un pour 5x, qui peuvent créer huit niveaux d'illumination. L'équipement optique est intégré à un étage TwinMotion qui peut accueillir jusqu'à trois plaquettes et qui permet un débit élevé lors du déplacement entre les plaquettes exposées et non exposées. En outre, l'ASML 5500/100C est équipé d'un système de positionnement par étage de haute précision qui est capable de positionner avec précision la plaquette aux coordonnées requises. Ceci se fait à l'aide d'un codeur moteur intégré qui fournit une rétroaction précise sur la position de l'étage. La machine est également équipée d'une caméra CCD afin que les images puissent être capturées avec précision. ASML 5500/100C dispose d'un environnement à faible dépression, qui contribue à réduire l'effet des particules de poussière dans l'atmosphère, et d'un environnement à basse température, qui garantit que les lentilles et les miroirs restent dans les tolérances spécifiées. 5500/100C est également équipé de fonctionnalités avancées telles qu'un programme d'intégration multi-processus, une unité d'enregistrement des données pour le suivi de la production, et une machine de surveillance automatisée pour la rétroaction en temps réel. Dans l'ensemble, 5500/100C est un pas de plaquette haute résolution de haute qualité qui offre une gamme de fonctionnalités pour améliorer la précision et la répétabilité de la lithographie haut de gamme. Avec son large éventail de caractéristiques et sa capacité à produire des images avec un niveau de détail fin, ASML 5500/100C fournit une solution fiable pour la production de dispositifs semi-conducteurs de haute performance.
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