Occasion ASML 5500 / 60 #9092942 à vendre en France

ASML 5500/60 est un pas de plaquette utilisé pour la photolithographie dans la production de semi-conducteurs. Il s'agit d'un appareil d'imagerie automatisé très précis utilisé pour façonner des circuits intégrés et d'autres caractéristiques microscopiques à la surface des puces semi-conductrices. La machine est essentiellement un microscope de grande taille utilisé pour exposer avec précision des circuits et d'autres motifs sur les substrats de la plaquette. Les photomasques sont alignés et focalisés sur la plaquette en question et exposés sélectivement avec une source lumineuse à travers une fenêtre optique à quartz. La précision requise pour produire de tels motifs exige un alignement complexe et une grande précision, et 5500/60 est équipé d'un éventail de technologies pour y parvenir. L'ASML 5500/60 est équipée de mécanismes d'étage rectilignes piézoélectriques, offrant un mouvement linéaire lisse avec une résolution au niveau micron. Plusieurs méthodes de compensation et capteurs permettent un mouvement de précision, y compris des contrôleurs d'étages assistés par codeur, un pas interférométrique et une détection optoélectronique de focalisation, qui permettent à la machine de transférer avec précision des motifs sur la plaquette. Le système est également équipé d'un alignement automatique dans lequel le masque est comparé à la plaquette pour assurer un positionnement précis. Pour le traitement, 5500/60 dispose d'une variété de sources lumineuses, d'ouvertures numériques et de temps d'exposition qui peuvent être facilement configurés et ajustés. La machine est en outre équipée d'un étage laminaire spécialisé qui se déplace parallèlement à la surface du substrat, augmentant la planéité et permettant à l'optique de traverser différentes profondeurs pour des surplombs variables. L'ASML 5500/60 est également équipée de dispositifs de sécurité robustes, tels que des systèmes d'arrêt d'urgence et une fonction de récupération automatique qui peut rapidement ramener la plaquette en question à la position de départ si quelque chose interfère avec le transport de la plaquette. D'autres fonctionnalités comprennent une interface utilisateur graphique, l'isolation intégrée et les contrôles environnementaux, la réduction active des vibrations, et l'analyse d'image post-exposition pour améliorer le contrôle de la qualité. En conclusion, 5500/60 est un pas de plaquette polyvalent et précis utilisé pour façonner des circuits intégrés et d'autres caractéristiques microscopiques à la surface des puces semi-conductrices. La machine est équipée d'un ensemble de fonctions sophistiquées de mouvement, d'alignement et de sécurité, qui permettent un processus de lithographie hautement efficace et collaboratif.