Occasion ASML AT-1150C #9292620 à vendre en France

ASML AT-1150C est un pas de plaquette, ou machine de photolithographie, utilisé dans les semi-conducteurs et d'autres industries pour la production de circuits intégrés et d'autres dispositifs. L'étape utilise des technologies optiques de pointe, y compris des lampes à vapeur de mercure, des lasers et des optiques LED ultraviolettes et quasi infrarouges, pour projeter avec précision un ensemble de motifs et de plans sur la surface d'une plaquette ou d'un matériau similaire. Le pas de plaquette se compose de deux composants principaux : le corps principal et la tête optique. Le corps principal comprend un équipement à quatre axes, assurant un mouvement précis dans les directions horizontale, verticale et inclinée lorsque la plaquette est transférée de la tête optique. Il comprend une plaque de base, une table tournante de précision, un mécanisme d'alimentation et une tête optique, qui utilisent tous un moteur hybride à cinq phases pour assurer un positionnement et un transfert précis de la plaque. La tête optique contient une lampe à arc court, un système de lentilles optiques, un diaphragme iris et trois miroirs optiques. Il est utilisé pour concentrer le faisceau de lumière de la lampe et projeter un ensemble de motifs gravés sur la surface de la plaquette. ASML AT 1150C supporte une variété de profils de projection, ce qui lui permet d'être utilisé pour une grande variété de types de circuits. Il dispose d'une unité d'alignement automatisée, qui utilise une combinaison d'algorithmes numériques et de positionnement optique pour ajuster rapidement la tête optique à la bonne position de mise au point pour chaque motif ou schéma. En outre, l'étape peut être programmée pour une variété de fonctions, telles que l'exposition des couches, les points de référence de vérification des plaquettes, l'analyse des plaquettes et l'optimisation des processus. AT:1150C est capable d'atteindre une résolution de 0,5 µm et une précision de 0,3 µm dans la configuration de conception de puce lorsqu'elle est utilisée avec la machine de métrologie dédiée à la cartographie des plaquettes. Il est équipé de technologies d'alignement laser, telles que l'alignement multi-champs et l'alignement fiduciaire, pour réduire les erreurs de désalignement dans la conception des puces. La machine utilise un moniteur automatisé de contrôle des processus, qui peut mesurer l'épaisseur des plaquettes, les revêtements et les défauts de motif. Avec un temps de cycle de seulement 12 secondes, ASML AT-1150 C est capable de produire des conceptions de puces de haute qualité rapidement et efficacement. La machine est également économe en énergie, ne nécessitant que 0,7 kW de puissance aux performances de pointe. Son corps scellé et son design sans poussière le rendent idéal pour les applications nécessitant un traitement en salle blanche. De plus, le stepper est équipé de systèmes de sécurité, tels que des interrupteurs d'arrêt d'urgence et des obturateurs empoisonnés qui peuvent être facilement ouverts en cas d'urgence.