Occasion ASML AT 1250D #9241299 à vendre en France
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ID: 9241299
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
System, 12"
2004 vintage.
ASML AT 1250D wafer stepper est un système conçu pour exposer des photorésistes sur des plaquettes de silicium lors du processus de photolithographie dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il utilise des scanners à interféromètre laser de haute précision ainsi qu'une gamme complète d'outils et de réglages pour permettre aux ingénieurs et techniciens de fabriquer avec précision et de façon répétée des dispositifs semi-conducteurs avancés. La plateforme utilise une gamme de sous-systèmes composants pour atteindre ce niveau de performance et de sophistication. Pour permettre son fonctionnement automatisé, le wafer stepper utilise jusqu'à 8 axes de mouvement motorisés, y compris X, Y, Theta, Z, Accel et Focus, qui sont gérés et intégrés pour garantir des résultats très précis et reproductibles. Le sous-système optique du wafer stepper utilise une lentille intégrée (jusqu'à 8) et un miroir mobile monté sur un portique sphérique, ainsi qu'un réseau de diodes laser et de photodiodes. La combinaison de ces composants et des scanners commandés par l'interféromètre permet aux ingénieurs de modéliser avec précision et constance les photorésistances sur les plaquettes semi-conductrices. En plus des sous-systèmes automatisés de mouvement et d'optique, la plate-forme comprend également un logiciel HMI (Human Machine Interface) sophistiqué qui sert de console d'opérateur permettant aux ingénieurs et techniciens d'interagir intuitivement et efficacement avec l'appareil. Le HMI comprend un panneau de contrôle avec un certain nombre de boutons, plusieurs affichages basés sur le texte, des touches de raccourci, et des paramètres pré-programmés pour différentes recettes et procédures. Il facilite également l'intégration du pas de plaquette avec une gamme de périphériques, tels que des bras robotisés pour la manipulation de précision des plaquettes, ou des systèmes de vision pour un travail de processus plus sophistiqué. Enfin, le système comprend également un certain nombre de capteurs environnementaux qui permettent au dispositif de surveiller et de réguler sa température interne, ses niveaux de pression et ses débits car ces paramètres peuvent varier de façon significative en fonction de la nature et de la complexité du processus de photolithographie. Toutes ces fonctionnalités combinées aident ASML AT-1250D wafer stepper fournir des performances exceptionnelles dans la production de circuits intégrés et d'autres composants micro-électroniques.
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