Occasion ASML AT-605 #9379125 à vendre en France

ASML AT-605 est un pas de plaquette qui utilise un équipement avancé d'alignement de projection à fente de balayage pour s'assurer que les plaquettes semi-conductrices sont exposées avec précision lorsque la lithographie est utilisée pour définir les caractéristiques. Le système se compose d'un masque mobile à 5 étages, maintenu en place par des actionneurs motorisés, et d'une unité optique sophistiquée qui illumine, aligne et expose la surface de la plaquette. La machine est conçue pour fournir une exposition précise, rapide et répétable de l'ensemble de la plaquette semi-conductrice, dans une tolérance précise. AT-605 dispose d'une précision 95mm x 95mm chrome sur masque à quartz, avec une précision d'ouverture d'indexation de 0,2 micromètre. L'outil optique de projection fournit une précision de cartographie de 0,4 micromètre, avec une tolérance de maintien de 0,22 micromètre. L'actif peut atteindre un débit de plaquettes allant jusqu'à 13 millions de plaquettes par heure, ce qui en fait un outil de production très efficace et efficient. ASML AT-605 intègre un modèle de capture d'image, qui permet un alignement rapide et précis de la surface de la plaquette. L'équipement comprend deux caméras CCD, un faisceau laser d'alignement et un système d'imagerie de projection. Les caméras CCD capturent l'image de la surface de la plaquette, tandis que le faisceau d'alignement laser est utilisé pour surveiller les changements dans la position de la plaquette. Cela garantit que la plaquette est exposée avec précision à la bonne orientation. L'unité d'imagerie de projection cartographie ensuite l'image exposée sur le masque. La machine est équipée d'une gamme de fonctionnalités conçues pour être intuitives et conviviales. Il s'agit notamment d'une interface utilisateur graphique, d'une fonction de centrage automatisé du masque et d'un contrôle programmable de la mise au point et de l'exposition. L'outil prend également en charge l'entrée de données, telles que l'épaisseur du matériau, la durée d'exposition et l'indice d'exposition. AT-605 offre la commodité d'un seul actif d'exploitation, avec l'assemblage automatique et l'alignement. Le modèle donne également accès à une large gamme de modèles de lithographie, y compris jusqu'à cinq à la fois. Enfin, ASML AT-605 est très polyvalent, car il peut être utilisé pour traiter une grande variété de géométries de plaquettes, de formes carrées à rondes et irrégulières.