Occasion ASML AT-850C #9235474 à vendre en France
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ID: 9235474
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
System, 12"
2004 vintage.
ASML AT-850C est un pas de plaquette conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Ce dispositif est typiquement utilisé dans des applications telles que la lithographie de haute précision pour créer des puces semi-conductrices. La conception de l'ASML AT850C comporte un équipement d'éclairage incohérent qui utilise des configurations de lentilles correspondant au motif désiré. Ce système est composé d'une unité d'alignement automatique, d'une optique d'imagerie haute résolution, d'un étage multi-zones précis et d'un porte-plaquettes dédié. L'unité d'alignement automatisé de AT:850C permet de valider l'alignement en temps réel pour la mise à pied du dispositif. Pour ce faire, on détecte divers paramètres tels que le décalage de position, le décalage de rotation, la distorsion et l'intensité. En outre, ASML AT 850 C est capable de traiter en parallèle jusqu'à 8 motifs indépendants tout en conservant une grande précision et un débit élevé. L'optique d'imagerie haute résolution de AT-850C permet une imagerie très précise des motifs désirés. Les configurations des lentilles sont maintenues avec une grande précision et peuvent être ajustées rapidement en fonction des conditions changeantes. Cette caractéristique permet une maniabilité et une faible marge de photolithographie, entraînant un rendement de production plus élevé. L'étage wafer d'AT 850 C offre et x, y résolution jusqu'à 0.1micron, et z résolution jusqu'à 25nm. Cette étape très précise permet une zone d'imagerie petite, mais résolue dans chaque zone. Cela permet également une miniaturisation globale des composants de l'unité. De plus, l'étage de plaquette possède une grande table plate et lisse pour des mouvements précis de la plaquette. ASML AT:850C est également équipé d'un porte-plaquettes qui permet un échange rapide et facile pour différentes tailles de plaquettes. Ce porte-plaquettes fournit une machine à languettes sécurisée pour avancer avec précision les plaquettes tout au long du processus de production. De plus, ce dispositif est intégré avec un basculement et une base d'angle pour la correction de l'inclinaison. La base basculante fonctionne avec une précision de 1 arc seconde pour augmenter l'efficacité du processus. Dans l'ensemble, AT 850C est un pas de plaquette polyvalent conçu avec une optique précise et une capacité de mise en scène. Ce dispositif fournit un environnement de haute précision pour la production de puces semi-conductrices rentables. ASML AT 850C est équipé d'outils et de capacités de conception modernes qui le rendent adapté à diverses applications de lithographie.
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