Occasion ASML AT-850C #9256715 à vendre en France

ASML AT-850C est un équipement de lithographie avancé basé sur des étapes par ASML. Il dispose d'un système d'exposition par balayage (SES) qui permet le balayage rapide et précis de grands champs à haute résolution. ASML AT850C est utilisé pour la production de circuits à petite échelle tels que VLSI, semi-conducteurs et circuits intégrés pour les produits électroniques grand public. Au cœur de l'unité se trouve l'ASML propriétaire LTS 800 Scanning Exposure Machine, conçu pour fournir précision et flexibilité. L'outil offre des performances d'imagerie améliorées, une vitesse accrue, une taille de champ d'image améliorée et une qualité d'image améliorée. Le SES dispose d'un champ de balayage de 12 pouces avec une résolution maximale de 65nm et une plage dynamique de 16 bits. L'actif de contrôle de l'exposition (ECS) a été conçu pour répondre aux normes de fonctionnement les plus élevées en ce qui concerne l'incorporation de plusieurs couches de lithographie à l'intérieur d'une même exposition. AT:850C offre un modèle d'alignement adaptatif avancé afin de renforcer la précision de l'exposition. L'équipement est capable de maintenir une précision subpixel de 0,5 μ m et peut compenser les distorsions causées par les vibrations, l'inclinaison et l'épaisseur inégale du film. De plus, l'analyseur d'exposition automatique (AEA) réside au sein du système pour fournir des renseignements détaillés sur l'alignement, tels que la taille du champ, les niveaux d'exposition, la taille du tir et les positions des bords. Cela s'ajoute à la surveillance de la forme d'onde de signature, pour assurer la stabilité à long terme du processus. AT850C est également équipé de plusieurs capteurs environnementaux conçus pour protéger l'unité contre les particules de poussière qui peuvent interférer avec le processus d'imagerie. Ces capteurs comprennent un capteur de température, un moniteur à fort courant et un moniteur d'humidité. Cela garantit que la machine est correctement scellée des saletés et des contaminants et permet à la machine de fonctionner dans un environnement propre. La machine comprend également un outil de refroidissement avancé pour assurer la fiabilité et la longévité. Pour ce faire, il faut faire circuler du liquide refroidi et de l'air à l'intérieur de l'actif, ce qui améliore les performances du modèle d'exposition et élimine la chaleur dissipée pendant le fonctionnement. En conclusion, AT 850C est un pas de plaquette très avancé conçu pour réaliser des circuits intégrés haut de gamme. Il dispose d'un équipement d'exposition à balayage (SES) et d'un système de contrôle de l'exposition (ECS) pour des processus d'imagerie précis. Il est également livré avec une unité d'alignement adaptative et un moniteur de forme d'onde signature afin de maintenir une grande précision et une stabilité de processus à long terme. Enfin, la machine contient un outil de protection contre la poussière et des moyens de refroidissement pour un fonctionnement optimal et fiable.