Occasion ASML AT-850C #9293663 à vendre en France

ASML AT-850C est un wafer-stepper de pointe conçu pour supporter des applications de 193 nm. Il est conçu pour produire des résultats lithographiques très précis, efficaces et cohérents. ASML AT850C est conçu pour être utilisé dans un large éventail d'applications telles que les applications commerciales EUV, l'industrie de la fabrication de masques et les applications de lithographie. AT:850C wafer stepper est conçu avec une ouverture numérique minimale de 0,76 et une ouverture numérique maximale complète de 0,80 pour réaliser la lithographie. Son équipement d'éclairage basé sur la polarisation alternée de l'éclairage optique diffractif permet une illumination dépendante de la polarisation avec l'éclairage polarisé pour une fidélité constante du motif. Le stepper est également équipé d'un mécanisme de positionnement très avancé et précis qui est conçu pour aligner la plaquette avec des composants optiques avec une précision de 1 micron pour obtenir un alignement et des performances de focalisation précis. ASML AT 850C est alimenté par un système hybride magnétique et linéaire de balayage direct qui est conçu pour éliminer l'hystérésis dans l'unité de balayage. Il supporte également la vitesse de balayage rapide et avec une accélération et une décélération constantes pour assurer des résultats d'imagerie constamment nets sur l'échantillon. Il est alimenté par un sous-système de résonance haute performance qui est conçu pour réduire les vibrations indésirables et fournir des résultats d'imagerie stables. Le pas de plaquette supporte un large éventail de caractéristiques, y compris un alignement de masque double piste de haute précision, une option améliorée de chevauchement de champ de quatre quadrants pour fournir de meilleurs résultats d'imagerie, un étalonnage automatique multi-piste amélioré, une machine optique améliorée de désaération, un contrôle automatisé de la propreté des pas, et une meilleure stabilité de l'éclairage. Le stepper comprend également une fonction d'alignement de plumes qui est conçue pour aligner les expositions multiples pour améliorer la précision, et une fonction d'auto-nivellement activée par algorithme pour éviter les désalignements. Enfin, AT850C est équipé d'un laser ophtalmologique en boucle fermée conçu pour assurer la sécurité en surveillant constamment le faisceau laser. En outre, le stepper comprend également des systèmes de vision personnalisés tels que la détection de contraste, des motifs d'éclairage supplémentaires créatifs, et une option de symétrie d'éclairage améliorée. Dans l'ensemble, ASML AT:850C est un wafer-stepper très avancé et sophistiqué qui est conçu pour fournir des résultats de lithographie cohérents, précis et précis pour un large éventail d'applications.